當前位置:北崎國際貿易(北京)有限公司>>KOFLOC 科賦樂>> 3660系列KOFLOC 科賦樂 標準質量流量計
產地類別 | 進口 | 產品種類 | 質量式 |
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價格區間 | 1萬-3萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
應用領域 | 醫療衛生,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
KOFLOC 科賦樂 標準質量流量計 3660系列
KOFLOC 科賦樂 標準質量流量計 3660系列
配備流量傳感器,采用改進的恒流溫差檢測方法,實現高速響應
采用常閉閥門,方向操作安全
通過電磁執行器確保高可靠性
燃氣控制的低壓差規格(LP選項:僅限3660)
模型 | 3660 | 3665 | |
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流量范圍 (N2轉換20°C / 1 ATM) | 10SCCM~20SLM(可選) | 30SLM~100SLM(可選) | |
傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
閥門方法 | 比例螺線管閥門(未通電時關閉) | ||
控制范圍(* 1) | 2~100%(F.S.) | 5~100%(F.S.) | |
響應速度 | 在2秒內 (在±2%F.S.內) | 在3秒內 (在±2%F.S.內) | |
準確性 | ±1.0%F.S.(25°C) | ±1.5%F.S.(25°C) | |
溫度系數 | ±0.1%F.S./°C(15~35°C) | ±0.2%F.S./°C(15~35°C) | |
再現性 | ±0.5%F.S. | ||
操作壓差 | F.S.≤5SLM 50~300 kPa(G) | F.S.≤50SLM 150~300 kPa(G) | |
F. S.> 5 SLM 100~300 kPa(G) | F. S.> 50 SLM 200~300 kPa(G) | ||
可選:中壓差壓規格(MP),低壓差規格(LP)可根據條件制造 | |||
壓力(* 1) | 980kPa(G) | ||
He泄漏率(* 2) | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | ||
允許周圍溫度 | 5~45℃ | ||
允許環境濕度 | 10~90%RH(無結露) | ||
氣體接觸材料 | 主體SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼 | ||
閥座FKM(選件CR或NBR) | |||
密封材料FKM(選件CR或NBR) | |||
電氣連接 | Dsub 9針KFC標準(符合SEMI標準) | ||
流量設定 輸入信號 | 0~5VDC (輸入阻抗1MΩ以上) | ||
流量輸出信號 | 0~5 VDC(外部負載電阻250kΩ以上) | ||
所需電源 | +15 VDC(±5%)100 mA,。15 VDC(±5%)250 mA | ||
接頭 (體型) | 標準1 / 4F900 (9 / 16.18 UNF) 選項1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等 | 標準3 / 8F 900 (9 / 16.18 UNF) 選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR,Rc 3/8等 | |
重量 | 約1000g | 約1500g |
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