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X射線熒光光譜儀(簡稱:XRF光譜儀),是一種快速的、非破壞式的物質測量方法。X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發出的次級X射線,被廣泛用于元素分析和化學分析,特別是在金屬、玻璃、陶瓷和建材的調查和研究,或是地球化學、法醫學、考古學和藝術品的檢測分析。
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