SPB5/plus RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
- 公司名稱 華儀行(北京)科技有限公司
- 品牌 CIF
- 型號(hào) SPB5/plus
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/4/28 9:16:27
- 訪問(wèn)次數(shù) 1730
聯(lián)系方式:孫永行18511111800 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
半導(dǎo)體領(lǐng)域儀器設(shè)備:等離子清洗機(jī)、紫外臭氧清洗機(jī)、勻膠機(jī)、烤膠機(jī)等。 理化實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備:酸蒸逆流清洗器、真空趕酸系統(tǒng)、酸純化器、智能消解儀、恒溫電熱板等
RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)主要用于微電子芯片、太陽(yáng)能電池、生物芯片、顯示器、光學(xué)、通訊等領(lǐng)域的器件研發(fā)和制造。
產(chǎn)品特點(diǎn)
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20 個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。
◆ PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
◆ 真空艙體、全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無(wú)污染。
◆ 采用防腐數(shù)字流量計(jì), 實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng), 可選多氣路氣體輸送系統(tǒng), 可輸入氧氣、氬氣、 氮?dú)狻⑺姆肌錃饣蚧旌蠚獾葰怏w。
◆ 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。
◆ HEPA 高效過(guò)濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
◆ 符合人體功能學(xué)的 60 度傾角操作界面設(shè)計(jì),操作方便,界面友好。
◆ 采用頂置真空艙,上開(kāi)蓋設(shè)計(jì),下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)方式。
◆ 上置式 360 度水平取放樣品設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作更方便。
◆ 有效處理面積大,可處理最大直徑 154mm 晶元硅片。
◆ 安全保護(hù),艙門打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源,機(jī)器運(yùn)行、停止提示。