VMB氣體閥門分配箱是一種內嵌多支分發管與排氣管,實現高純氣體或或者液體分流的閥門箱。它能讓氣體從單一來源被分配到多點應用 ,而且對于每個使用點, 氣壓還可被單獨地調控, 從而滿足個別應用需求,是一種高精度的氣體設備。
VMB有手動分配箱和半(全)自動分配箱,兩者之間的區別在于是否通過PLC面板控制和系統功能的多少。
VMB是被設計且制造成為單一氣體使用,不能讓兩種氣體共同使用。專為腐蝕性、毒性等危險性氣體供應,既然專為危險性氣體設計,那拆卸的時候豈不是很危險?當然不是,我們的VMB是具有循環清潔功能和真空抽氣功能的。能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地拆卸 VMB 的每一部分,不僅如此,它還能在不影響其它應用點的氣體供應下, 單獨清洗某一氣體分發管或者對其進行真空抽氣。
VMB氣體閥門分配箱半自動分配箱的功能和拆分:
一、 閥門箱VMB(Valve Manifold Box)硬件配置
1. 人機界面:作為人與控制器的控制與溝通界面。
一方面可顯示系統目前的狀況,同時亦可接受操作人員下達的指令,作為系統運作的確認。
2. PLC:整體控制的處理中心。
3. 電磁閥:控制氣動閥的開閉。
(電磁閥為可撥式Type,可依需求強制開啟電磁閥)
4.遮斷按鈕:系統發生異常時按此鈕關閉盤面氣動閥。
5. LED指示燈:以亮燈表示系統目前的狀態。
系統正常:(Normal)
存量不足:(Low Quantity)
異常報警:(Shutdown)Or (Warning)
6. 紫/紅外線火焰感知器:當感測到火災發生時作動,將訊息傳至PLC處理。
7. 差壓設定開關:當箱體與大氣壓之差壓未達設定值動作,將訊息傳至PLC處理。
8. 差壓計:顯示箱體與大氣壓之差壓。
9. 繼電器:依電路設計可作為控制或接點之輸出。
10. 電源供應器:因控制回路所使用之電源為DC 24V,故需Power Supply轉換。
11. 溫度開關:當感測到箱體溫度高于設定值時,將訊息傳至PLC處理。
12. I.A過流量開關:當驅動氣動閥之軟管松脫或爆裂導致流量過大,將輸出訊號告知。
二、 閥門箱VMB(Valve Manifold Box)安全功能介紹:
1. 緊急停止按鈕:按下緊急停止按鈕即可關斷所有的氣動閥。
2. 遠程緊急停止控制:當遠程緊急停止動作驅動則即可關斷所有的氣動閥。
3. I.A壓力開關:當氣動閥驅動壓力不足時則會輸出警報告知。設定為 0.4 ~ 0.63 Mpa。
4. 過溫開關:當偵測到箱體環境溫度高于設定值時則會輸出警報告知并且自動關閉所有閥件。設定溫度為70℃。
5. 紫/紅外線火焰感知器:當感測到火災發生時作動,則會輸出警報告知并且自動關閉所有閥件。
6. 過流量開關:當管路內的流量過大導致驅動過流量開關(EFS),則會輸出警報告知并且自動關閉該使用側的閥件。
7. 壓差開關:當箱體內的壓差過小的狀態下,則會輸出警報告知。設定壓差為50 Pa以上。當壓差不足,當氣體外泄時時易發生氣體擴散出箱體,故開啟箱體門前敬請注意箱體與大氣的壓差是否足夠。
因其設計初衷和適用氣體,被廣泛用于Semiconductor、TFT、SunSolar、LED,研究所,高校實驗室等行業。比如:目前,因制程越來越先進,大流量特氣供氣的需求越來越多,產生了BSGS的系統,而為達到供應的穩定,一臺會分配到多臺VMB。
氣體分配箱VMB和特氣柜在特氣系統中起著至關重要的作用。VMB負責將氣體從氣體源輸送到使用點,而特氣柜負責存儲和管理氣體瓶,保障氣體的安全使用和儲存。這兩種設備的作用和功能互補,相互協作,確保特氣系統的正常運行。
在特氣系統中,氣體分配箱VMB和特氣柜通常通過控制系統進行協調。控制系統可以通過監測氣體流量和壓力來調節氣體分配箱VMB的閥門,確保氣體被正確地輸送到需要的地方。控制系統還可以監測特氣柜的氣體瓶存量和安全狀態,以確保氣體瓶的安全使用和儲存。