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GIGAbatch 批量晶圓處理等離子系統

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半導體前道清洗

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. GIGAbatch 310M等離子系統:

GIGAbatch 310M等離子系統 是 GIGAbatch 產品系列中的入門型號。作為小的系統,GIGAbatch 310M具有較高的性價比,憑借先進的等離子技術以及經濟實惠等優點,它是實驗室和大學的理想之選。然而,即使是基礎版本,它也可用于使用 MFC 氣體管道和 600 W 發生器,執行手動和自動等離子處理。基礎版本的桌面型;為第二個氣體管道提供空間。腔室多可容納 25 片直徑為 150 毫米的晶圓,可以使用石英舟批量處理,或使用帶有特殊裝載裝置進行單片處理。各種個性化配置的配件:具有特殊密封材料的配置,帶冷卻板和循環冷卻器的腔室可用于從晶圓上去除 SU-8。

 

2. GIGAbatch 360/380M等離子系統:

GIGAbatch 360M 和 380M等離子系統,是為滿足低要求的小批量生產而設計。 GIGAbatch 360M版本有一個直徑為 245 mm的工藝室,多可容納 50 片直徑為 150 mm的晶圓。而GIGAbatch 380M版本的腔室內徑為 300 mm,多可容納 25 片直徑為 200 mm 的晶圓。該系統的基礎版本是一款落地式設備,帶有噴涂面板、可調節支腳和腳輪。它配有一個輸出功率為 1000 W 的發生器、兩個 MFC 氣體管道、晶圓溫度監控和一個終點偵測系統。此外,它還包括一個固定晶圓和基板的裝置,可安裝在腔體室內門上,并可根據客戶具體要求進行設計。也可按客戶需求提供:過程壓力 (DSC) 的主動控制裝置、法拉第籠、額外的氣體管道、不同尺寸基板或晶圓的裝載裝置、陶瓷工藝室、使用含氟工藝氣體運行的特殊密封件。















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