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臭氧發生器

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臭氧

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南京博創半導體設備有限公司成立于2019年主體經營:1.半導體制造相關設備:鍵合/解鍵合設備/晶圓清洗設備/涂膠設備/剝離設備2.半導體用高清潔傳送設備:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.納米印壓設備:8寸/12寸全自動量產設備和R&D研發設備4.FDP/PLP設備:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解鍵合設備5.UV系列產品:UV Laser/Excimer UV燈/UVLED燈/牛尾-濱松-ORC照度計 所在地 :江蘇省南京市棲霞區(新港開發區)恒泰路6號



172nm準分子,臭氧發生器,照度計,Robot,EB照射器

產地類別 進口 應用領域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合

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 ■采用循環方式: 極少有積水、廢棄水, 濃度產生速度快(1分鐘內生成臭氧水)), 穩定的臭氧水濃度和流量供應到洗凈工藝

 ■不會有金屬產生的臭氧水:適用于精密清洗的臭 氧水生成

1 獨自的臭氧發生技術:石英三重管式放電管的優點

?石英玻璃內放電?潔凈臭氧生成.長壽命

           ?半導體洗凈適合醫療用臭氧也可安全使用

?放電電極兩面水冷?臭氧發生效率大

            ?緊湊型臭氧氣發生,緊湊型臭氧水生成

 臭氧發生器型式LOG-LC40G :40g/hr臭氧產生此裝置可以作為單體使用,也可以嵌入現有設備中使用13

2 獨自的臭氧溶解技術:

?接液部全部為氟素樹脂?潔凈的臭氧水生成 耐臭氧性

               ?適用于半導體制造

?高效的臭氧氣體溶解?省空間、大容量


3 臭氧濃度測定技術:使用UV-LED替代以往的水銀燈?不含水銀 ?不需要暖氣 ?不受外部氣溫的影響?測定精度高、緊湊化15






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