Nikalyte NL-50磁控濺射儀能夠將超純、不聚集的納米顆粒直接沉積到直徑達 50 毫米的任何表面上。NL50 專為共享研究或教學實驗室設計,學生和研究人員可以在其中并行開展各種納米技術項目,無需擔心交叉污染。其應用領域包括催化、光子學、能源存儲、傳感器和生命科學。
NL50利用磁控濺射技術在真空中從固體源材料生成一束超純納米粒子,整個過程不使用任何化學品或表面活性劑。納米粒子的特性包括:
- 超純且不含碳氫化合物。
- 不聚集。
- 結果一致且可重復。
- 提供廣泛的材料選擇。
- 可生成化合物納米粒子,例如氮化物和氧化物。
沉積控制方面,通過石英晶體微量天平(QCM)進行實時沉積控制,能夠精確且可重復地控制從單分子層覆蓋到多孔3D結構的表面負載。沉積時間通常為幾分鐘,沉積速率范圍為10-50 ng/cm2·s。
Nikalyte NL-50磁控濺射儀主要特點:
· 沉積無碳氫化合物、不聚集的納米顆粒。
· 可實現從亞單層到高孔隙率 3D 納米涂層的沉積。
· 表面等離子體清洗和功能化。
· 生成純金屬或化合物納米顆粒,如氧化物和氮化物。
· 提供廣泛的材料選擇,包括銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、鎳(Ni)、銥(Ir)和鉑(Pt)。
· 使用石英晶體微天平(QCM)進行實時沉積控制。
· 典型周期時間為 30 分鐘的可重復過程。
· 室溫沉積與石墨烯、膜和塑料等敏感基底兼容。
耗材
靶材尺寸:直徑 1 英寸(25.4 毫米),最大厚度 3 毫米
最大樣品尺寸:直徑 50 毫米
材料:導電材料,包括銀(Ag)、金(Au)、鉑(Pt)、銅(Cu)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、銥(Ir)
規格參數
重量:約 60 公斤(113 磅)
尺寸(長×寬×高): 70 厘米×50 厘米×60 厘米