| 尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 | 溫度范圍 | RT-800℃（可選） |
|---|---|---|---|
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | 控溫方式 | 單通道/雙通道PID |
| 材質 | 合金/鍍金 | 吸附方式 | 真空吸附 |
| 探針臺型號 | HTM-600H | |
| 外形尺寸 | 寬580mm | |
| 深520mm | ||
| 高800mm | ||
| 高溫樣品臺 | 整體重量 | 約100Kg |
| 尺寸 | 中6英寸 | |
| 溫度范圍 | RT~800℃(可選) | |
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | |
| 溫度穩(wěn)定性 | ±0.5℃ @<100℃ | |
| ±1℃ @<300℃ | ||
| ±2℃ @<500℃ | ||
| ±3℃ @<800℃ | ||
| 控 溫方式 | 單通道/雙通道 PID | |
| 材質 | 合金/鍍金 | |
| 平整度 | ±5μm | |
| 吸附方式 | 真空吸附 | |
| 電學特性 | 浮地懸空 背 電極信號加載&測量 | |
| X-Y 軸調(diào)節(jié)行程 | 6英寸x6英寸 | |
| X-Y軸調(diào)節(jié)方式 | 線性無回差1μm精調(diào) 氣浮快速定位 | |
| Z軸升降調(diào)節(jié)行程 | 0-10mm,精度1μm | |
| θ 水平方向旋轉角度粗調(diào) | 0-360° | |
| θ 水平方向旋轉角度微調(diào) | ±5°,精度0.1° | |
| a垂直方向擺動角度微調(diào) | ±20°,精度0.1° | |
| 顯微鏡 | X-Y-Z軸調(diào)節(jié)行程 | 50mmx50mmx50mm 精度1微米 |
| Z軸氣動升降行程 | 50mm,升降速度可調(diào) | |
| 傾仰角度調(diào)節(jié) | 0-30°,自動鎖止 | |
| 光學倍率 | 180X/500X/1000X | |
| 光學分辨率 | 5μm/2μm/1μm | |
| 工業(yè)相機像素 | 1920x1080P | |
| 針座 臺面 | 外型 | U型 |
| 材質 | 拋光不銹鋼&防腐氧化 | |
| 平整度 | ±3μm | |
| 容積 | 至多放置8個探針座 | |
| 快速升降行程 | 5mm | |
| 微調(diào)升降行程 | 25mm,精度1μm | |
| 探針座點測定位精度 | 1.4μm/0.7μm/0.35μm | |
| 探針座支持測量類型 | 低頻/高頻/大功率/光波 | |
| 測量 范圍 | 探針卡安裝尺寸 | 4.5英寸 |
| 低 頻 測量電流精度 | 10pA | |
| 高 頻測 量頻率范圍 | DC-1100GHz | |
| 大功率測量范圍 | 10KV/1500A | |
| 光波測量范圍 | 紫外/可見光/紅外 | |
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