SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計(jì) PG-D5A

SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計(jì) PG-D5A

真空計(jì)（Vacuum Gauge），又稱真空壓力計(jì)或真空規(guī)，是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)內(nèi)氣體壓力的儀器。其工作原理基于不同壓力范圍內(nèi)氣體分子的物理特性變化，通過(guò)傳感器將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，最終以數(shù)字或模擬方式顯示真空度。真空計(jì)廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)制造、半導(dǎo)體、航空航天等領(lǐng)域，是真空技術(shù)的關(guān)鍵測(cè)量設(shè)備。

它顯示從大氣壓到 0.13 Pa 的寬壓力范圍，并以數(shù)字和條形圖清晰顯示。 它也不受電纜長(zhǎng)度的影響。 觸點(diǎn)輸出可自由分配給 6 個(gè)設(shè)定點(diǎn)。 此外，作為一種選項(xiàng)，它是一種可用于各種應(yīng)用（例如各種控制和 FA 系統(tǒng)）的模型。

1. 真空計(jì)的核心組成

傳感器：根據(jù)測(cè)量原理不同，可分為機(jī)械式、熱傳導(dǎo)式、電離式等。

信號(hào)處理電路：放大和轉(zhuǎn)換傳感器信號(hào)，提高測(cè)量精度。

顯示/輸出單元：數(shù)字顯示、模擬指針或數(shù)據(jù)接口（RS485、USB等）。

校準(zhǔn)系統(tǒng)（部分型號(hào)）：確保長(zhǎng)期測(cè)量準(zhǔn)確性。

2. 真空計(jì)的分類

根據(jù)不同測(cè)量原理和適用壓力范圍，真空計(jì)主要分為以下幾類：

類型 測(cè)量范圍（Pa） 工作原理 典型應(yīng)用

機(jī)械式真空計(jì) 10? ~ 10?1 利用彈性元件（如波登管、薄膜）變形測(cè)量壓力 粗真空測(cè)量（如真空包裝、空調(diào)系統(tǒng)）

熱傳導(dǎo)真空計(jì) 103 ~ 10?3 基于氣體熱導(dǎo)率隨壓力變化的特性 中低真空（如真空爐、鍍膜設(shè)備）

電離真空計(jì) 10?1 ~ 10?? 通過(guò)電離氣體分子測(cè)量離子電流 高真空（如電子顯微鏡、半導(dǎo)體制造）

電容式真空計(jì) 10? ~ 10?? 利用電容變化測(cè)量薄膜位移 高精度真空控制（如科研實(shí)驗(yàn)）

復(fù)合真空計(jì) 10? ~ 10?? 結(jié)合多種傳感器，覆蓋寬量程 全范圍真空監(jiān)測(cè)（如航天測(cè)試）