3100 KOFLOC科賦樂 質量流量計
| 參考價 | ￥ 8650 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿易有限公司
- 品牌 KOFLOC/科賦樂
- 型號 3100
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/5/21 9:35:05
- 訪問次數 15
聯系方式：汪雅琪13166082288 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息，謝謝!
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列開發的用于高精度流量測量的新型質量流量計。
這種高級型號采用新型低壓力毛細管流量傳感器，可確保高速響應和長期穩定性。
配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實現高精度，高速響應
F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項）
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（可選） |
|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
| 響應速度 | 1秒內 |
| 準確性 | ±1％FS（15~35°C） |
| 再現性 | 在±0.2％FS（20°C）內 |
| 耐壓 | 980kPa（G） |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃ |
| 允許環境濕度 | 10~90%RH（無結露） |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR或Kallets） | |
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA -15 VDC（±5％）100 mA |
| 接頭 （體型） | 標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 |
| 重量 | 約800g |
采購中心
化工儀器網