PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V76系列）

V76帶T-Motion的大型傳輸閥/插入件是為滿足太陽能和顯示器生產系統的特殊要求而開發的。V76專為高循環生產系統而開發，在大型傳輸閥（≤2秒，150?mm開口高度）。V76的設計目標是在超過一百萬次循環的生命周期內實現高正常運行時間和可靠運行。

V76使用的T-Motion技術基于模塊化平臺概念，并針對關鍵的太陽能和顯示應用進行了全面優化：

lPECVD/ETCH：對于這些應用，V76版本的閥門上提供了一種特殊的服務功能，允許在真空下傳輸室保持生產模式的同時，保持工藝室的閘門。這一特性尤為重要，因為在PECVD和ETCH工藝中，需要頻繁清潔和更換閘門密封。軟移動、雙作用T型運動機構沿整個密封表面提供均勻的密封壓力，減少所需的密封載荷，最大限度地減少密封磨損。這降低了閥門壽命期間的FFKM密封成本。

lOLED/PVD和負載鎖：使用V76的修改版本，使用更大的壓力元件，可以施加全壓差。該版本提供OLED的“超清潔”配置，并為PVD和負載鎖定應用提供高速選項。

V76系列有帶外殼的標準傳輸閥或直接安裝在工藝室中的插入式版本。

V76系列已經在各種工藝條件下安裝在數百個太陽能和顯示器生產系統中，證明了其在各個方面的出色性能。

與所有PRECESS輸送閥解決方案一樣，V76大型輸送閥/帶T-Motion的插入件是根據客戶的確切規格量身定制的。這些定制可能包括額外的過程控制單元、特殊的表面處理，如硬質陽極氧化鋁或鍍鎳鋁、其他密封材料、檢測閥體壓力的真空計、波紋管保護的軸饋通、閥門和閘門的射頻和直流接地選項、執行器的橫向安裝位置等。

特征

l半標準應用（半E21-9半E24-92半E21.1-1296）

l通過使用獲得認證的L形運動連桿和執行器中沒有彈簧的雙換檔，顯著減少了振動，實現了更快、更平穩的執行

l機械鎖處于關閉位置

優點

l焊接波紋管執行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落

l氣動執行器雙作用

應用

l太陽能、FPD加工

l高運行速度下的低沖擊

l位置3允許在對閥門進行維護工作時保持一個腔室處于真空狀態

lLCD/平板加工

PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V76系列）

技術參數