化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計(jì)流速儀/測(cè)漏儀>質(zhì)量流量計(jì)>SEC-Z524MGX HORIBA高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
SEC-Z524MGX HORIBA高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià) | ￥ 18000 |
| 訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場(chǎng)
- 型號(hào) SEC-Z524MGX
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/5/23 9:39:15
- 訪問次數(shù) 40
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 1萬-3萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,綜合 |
SEC-Z524MGX HORIBA高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
SEC-Z524MGX 是HORIBA高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC），隸屬于 SEC-Z500X 系列，專為半導(dǎo)體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設(shè)計(jì)。其具備多氣體、多量程配置功能，支持 DeviceNet 通信協(xié)議，適配各種工業(yè)自動(dòng)化控制系統(tǒng)。
主要特點(diǎn)
多氣體/多量程配置：支持通過軟件快速切換氣體類型與流量范圍，簡化庫存管理，降低成本。
高精度控制：在全量程范圍內(nèi)提供 ±1% 設(shè)定值 或 ±0.25% 滿量程的控制精度。
快速響應(yīng)：<1 秒的響應(yīng)時(shí)間，有效提高工藝控制效率。
金屬密封結(jié)構(gòu)：全不銹鋼氣體接觸部分，確保氣體純度，滿足高潔凈度應(yīng)用的要求。
靈活通信接口：內(nèi)建 DeviceNet 通訊，部分版本支持模擬信號(hào)與 EtherCAT®，便于集成至不同的控制系統(tǒng)中。
結(jié)構(gòu)緊湊，安裝靈活：C-Seal 安裝接口，適配各類設(shè)備集成。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào)：SEC-Z524MGX
流量范圍：支持多種滿量程設(shè)置，常見如 10 SLM、30 SLM、50 SLM 等，可通過專用軟件進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)更改。
適用氣體：支持多氣體配置，常見如氮?dú)猓∟?）、氧氣（O?）、氬氣（Ar）、硅烷（SiH?）等，用戶可根據(jù)需求更改氣體類型。
控制精度：±1.0% 設(shè)定點(diǎn)（S.P.）或 ±0.25% 滿量程（F.S.），兩者取其較大值。
響應(yīng)時(shí)間：≤1 秒（全量程范圍內(nèi)）。
閥類型：壓電陶瓷閥，常閉型（Normally Closed）。
密封材料：金屬密封（如 C-Seal）。
通信接口：支持 DeviceNet™，部分型號(hào)還支持模擬信號(hào)和 EtherCAT® 通信。
電源要求：DC 24V，功耗約 4.0 VA。
氣體接觸部件材料：SUS 316L 不銹鋼，適用于高純度氣體控制。
工作環(huán)境：建議溫度范圍為 5～50℃，推薦 15～45℃，環(huán)境應(yīng)潔凈干燥以確保控制精度和壽命。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體光刻/刻蝕/沉積氣體控制
精細(xì)化工過程流量管理
光電器件生產(chǎn)
實(shí)驗(yàn)室高純氣體流量監(jiān)測(cè)與控制
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