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一文與您分享石英坩堝的常見問題相應解決方法

閱讀:855      發布時間:2025-1-17
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  石英坩堝是由高純石英砂通過特定工藝高溫燒制而成的器皿,主要成分是二氧化硅(SiO2),具有耐高溫、耐腐蝕、高純度、熱穩定性好等優良特性。它廣泛應用于半導體、光伏、化工及現代工業生產等領域,特別是在單晶硅棒的拉制過程中,作為盛裝熔融硅液的關鍵一次性消耗品。
 
  石英坩堝在使用過程中可能會遇到多種問題,這些問題若不及時解決,可能會影響生產效率和產品質量。以下是一些常見問題及其相應的解決方法:
 

 

  1、在高溫下可能會產生析晶現象。析晶會導致內壁涂層破壞,使得涂層下的氣泡層與熔硅發生反應,從而影響晶體結構。為解決這一問題,需確保生產質量,選用符合生產要求的原料,并嚴格控制熔料溫度。同時,對新的石墨器件進行高溫煅燒,以減少外層析晶的可能性。
 
  2、發生變形。變形會影響拉晶操作,甚至導致無法繼續正常拉晶。為防止變形,需確保裝料方法正確,避免液位線上的料與接觸呈面接觸狀態。同時,合理控制熔料溫度,避免溫度過高或過低導致變形。此外,還需注意存放和運輸過程,避免受到外力擠壓導致變形。
 
  3、鼓包現象。鼓包會影響拉晶質量,甚至導致晶棒跌落等嚴重事故。為防止鼓包,需嚴格控制燒煉溫度,避免超過耐溫極限。同時進行定期檢查,及時發現并處理鼓包問題。
 
  綜上所述,石英坩堝在使用過程中需注意析晶、變形和鼓包等問題。為確保生產效率和產品質量,需采取相應措施進行預防和解決。同時,操作人員需具備一定的專業知識和操作技能,以便及時發現并處理各種問題。

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