氣鎮閥能加速抽出蒸汽而不致污染油質。如果真空泵只抽出*性氣體時，氣體不因壓力的增加而液化，則無所謂泵油的劣化，但是如果要用該泵來真空干燥或抽出潮濕空氣，則氣體中不但有*性氣體而且還有水蒸氣，如果用不帶氣鎮的泵抽出這部分水蒸氣時，蒸汽將液化而溶于油中，油的真空性質劣化，因而降低了泵的抽速和真空度。現對水蒸氣的壓縮過程進一步的闡述如下：

被泵抽除的水蒸氣，應該在壓縮室內壓縮，直到排氣閥打開為止，若假定泵內的溫度為60℃，則在此溫度下水的飽和蒸汽壓為20000帕，在壓縮過程中的水蒸氣一旦達到上述壓力則開始凝結為水，但是20000帕時還不能推開排氣閥，因為排氣閥是通向大氣又有排氣閥的彈簧壓住，也就是泵腔的內部壓力要壓縮到120000帕以上才能推開排氣閥，水蒸氣竟壓縮以后，到壓縮末期已全部凝結為水，而混入油中。

為了滿足抽出潮濕空氣的要求，而不致水蒸氣污染油質，所以，真空泵裝有氣鎮裝置，其原理是在壓縮過程中放入一定量的空氣以提高混合氣體的壓力，混合氣體的壓力為空氣的分壓力和水蒸氣的分壓力之和，在蒸汽的分壓力尚未達到泵溫下的飽和蒸汽壓時，混合氣體壓力超過排氣閥的壓力而打開排氣閥，使蒸汽來不及在泵腔中液化而被排除泵外。

氣鎮閥另一用途可用以恢復真空泵的極限壓力，有時抽出一般空氣，內含可凝性的氣體較少，一般氣鎮閥是關閉的，但當時間久了，油質卻逐漸被空氣內含有的少量可凝性氣體所污化，對沒有氣鎮機構的泵來說，只有更換新油，或把泵油加熱，讓液化的蒸汽蒸發才能恢復泵原有的極限壓力，而對于氣鎮泵來說，只要打開1至2個小時即可恢復真空泵之極限壓力。

當氣鎮閥內部壓力低于外部壓力時，氣鎮閥打開，氣體進入泵腔使泵腔內部可凝性氣體分壓力達到泵溫時的飽和蒸氣壓之前，壓縮氣體的壓力已達到排氣壓力，將可凝性氣體排出；當氣鎮閥內部壓力高于外部壓力時，氣鎮閥關閉。