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四探針測試儀

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  • 型號 LY.4-SDY-4
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  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
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更新時間:2016-06-12 13:53:04瀏覽次數(shù):1003

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產(chǎn)品簡介

LY.4-SDY-4型四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀器.
儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,采用平面輕觸式開關(guān)控制,及各種工作狀態(tài)LED指示.應(yīng)用微計算機(jī)技術(shù)......

詳細(xì)介紹

四探針測試儀 概述:

LY.4-SDY-4型四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀器.

    儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,采用平面輕觸式開關(guān)控制,及各種工作狀態(tài)LED指示.應(yīng)用微計算機(jī)技術(shù),利用HQ-710E型測量數(shù)據(jù)處理器,使得測量讀數(shù)更加直觀、快速,并能實現(xiàn)晶片厚度自行修正,打印出全部預(yù)置和測量、計算數(shù)據(jù)。整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。

    LY.4-SDY4 本儀器可滿足半導(dǎo)體材料、器件的研究生產(chǎn)單位對材料(棒材、片材)電阻率及擴(kuò)散層、離子注入層、異型外延層和導(dǎo)電薄膜方塊電阻測量的需要。

 技術(shù)指標(biāo):

1 測量范圍: 電阻率:0.001-200Ω.cm(可擴(kuò)展);

方塊電阻:0.01-2000Ω/口(可擴(kuò)展);

2 可測晶片直徑(zui大):100mm(配J-2B型手動測試臺)

 200mm(配J-51型手動測試臺)

3 恒流源:電流量程分為0.1、1、10、100(mA)四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào).誤差<±0.3%

4 數(shù)字電壓表:

量程:0-199.99mV; 分辨率:10μV

顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、小數(shù)點、超量程自動顯示。

輸入阻抗>1000MΩ; 精度:±0.1%.

5 zui大電阻測量誤差(按JJG508-87進(jìn)行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字.

6 四探針探頭:

間距:1±0.01mm;針間絕緣電阻≥1000MΩ;機(jī)械游移率:≤0.3%

探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓(總力) TZT-9C/9D 5-8 牛頓(總力)

7 整機(jī)不確定度:(用硅標(biāo)樣片測試)≤5% (0.01-180Ω.cm)

8 外形尺寸:電氣主機(jī):360mm×320mm×100mm;數(shù)據(jù)處理器:300mm×210mm×105mm

9 數(shù)據(jù)處理器功能:

 A 鍵盤控制測量取數(shù),自動進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示出平均值.測薄片時,可自動進(jìn)行厚度修正;

 B 鍵盤控制數(shù)據(jù)處理,運算電阻率平均值和電阻率值zui大百分變化及平均百分變化;

 C 鍵盤控制打印全部測量數(shù)據(jù).測量條件、zui大電阻率值、zui小電阻率值、電阻率zui大百分變化及平均百分變化。

10 儀器重量:電氣主機(jī):約4kg;測試臺:約10kg,數(shù)據(jù)處理器:約2.5kg

11 測試環(huán)境:溫度23±2℃;相對濕度≤65%;無高頻干擾;無強(qiáng)光照射。

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