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四探針測試儀

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  • 型號 LY.4-SDY-4
  • 品牌
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2016-06-12 13:53:04瀏覽次數:1004

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產品簡介

LY.4-SDY-4型四探針測試儀是根據單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準設計的半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀器.
儀器以大規模集成電路為核心部件,采用平面輕觸式開關控制,及各種工作狀態LED指示.應用微計算機技術......

詳細介紹

四探針測試儀 概述:

LY.4-SDY-4型四探針測試儀是根據單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準設計的半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀器.

    儀器以大規模集成電路為核心部件,采用平面輕觸式開關控制,及各種工作狀態LED指示.應用微計算機技術,利用HQ-710E型測量數據處理器,使得測量讀數更加直觀、快速,并能實現晶片厚度自行修正,打印出全部預置和測量、計算數據。整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩定性好、易操作。

    LY.4-SDY4 本儀器可滿足半導體材料、器件的研究生產單位對材料(棒材、片材)電阻率及擴散層、離子注入層、異型外延層和導電薄膜方塊電阻測量的需要。

 技術指標:

1 測量范圍: 電阻率:0.001-200Ω.cm(可擴展);

方塊電阻:0.01-2000Ω/口(可擴展);

2 可測晶片直徑(zui大):100mm(配J-2B型手動測試臺)

 200mm(配J-51型手動測試臺)

3 恒流源:電流量程分為0.1、1、10、100(mA)四檔,各檔電流連續可調.誤差<±0.3%

4 數字電壓表:

量程:0-199.99mV; 分辨率:10μV

顯示:四位半紅色發光管數字顯示;極性、小數點、超量程自動顯示。

輸入阻抗>1000MΩ; 精度:±0.1%.

5 zui大電阻測量誤差(按JJG508-87進行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字.

6 四探針探頭:

間距:1±0.01mm;針間絕緣電阻≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3%

探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓(總力) TZT-9C/9D 5-8 牛頓(總力)

7 整機不確定度:(用硅標樣片測試)≤5% (0.01-180Ω.cm)

8 外形尺寸:電氣主機:360mm×320mm×100mm;數據處理器:300mm×210mm×105mm

9 數據處理器功能:

 A 鍵盤控制測量取數,自動進行電流換向,并進行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示出平均值.測薄片時,可自動進行厚度修正;

 B 鍵盤控制數據處理,運算電阻率平均值和電阻率值zui大百分變化及平均百分變化;

 C 鍵盤控制打印全部測量數據.測量條件、zui大電阻率值、zui小電阻率值、電阻率zui大百分變化及平均百分變化。

10 儀器重量:電氣主機:約4kg;測試臺:約10kg,數據處理器:約2.5kg

11 測試環境:溫度23±2℃;相對濕度≤65%;無高頻干擾;無強光照射。

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