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固相微萃取技術（SPME）的基本原理是以石英纖維或其它材料為基體支持物，根據樣品組分的性質，在其表面涂漬不同性質的固定相涂層；通過直接浸入或頂空方式，利用固定相涂層對樣品中的有機物或者無機離子進行萃取和富集；萃取和富集結束后（平衡后或未達平衡前），將富集了待測物的纖維從樣品中取出，隨后直接將纖維置于分析儀器（氣相色譜、液相色等）的進樣裝置中通過一定的方式解吸附（如氣相色譜可熱解吸，液相色譜可溶劑解吸），在待測物組分引入分析儀器之后，對其進行分離和檢測。固相微萃取裝置的簡單原理示意如下：
