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一、 技術(shù)參數(shù)：

3.1  整機(jī)：一體式集成，包含空氣壓縮系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)、存儲(chǔ)系統(tǒng)和氮?dú)庵苽湎到y(tǒng)

3.1.1          氮?dú)饬魉?0L/min

3.1.2          純度99%

3.1.3          氮?dú)鈮毫?0psi，且壓力可調(diào)，可滿足前端設(shè)備的供氣壓力要求

3.1.4          PAEs(鄰苯二甲酸酯)：無

3.1.5          壓力露點(diǎn)：＜－45℃

3.1.6          使用環(huán)境溫度：5~35℃

3.1.7          使用環(huán)境濕度：0~80%，無冷凝

3.1.8          電壓220V,功率1.6KW

3.1.9          外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高 mm）：360×600×650

3.2  空氣壓縮系統(tǒng)：內(nèi)置無油空氣壓縮機(jī)，雙空壓機(jī)技術(shù)，

3.3  凈化系統(tǒng)：

3.3.1采用4級(jí)超精密過濾系統(tǒng)

3.3.2過濾精度：顆粒<0.01um@0.003mg/m3

3.3.3 高通量設(shè)計(jì)，空氣處理量不小于400L/min

3.3.4 過濾系統(tǒng)帶智能堵塞報(bào)警功能，避免因失效造成的損失

3.3.5 采用大功率冷凝除水系統(tǒng)，確保獲得干燥的空氣流