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納米壓痕儀的主要應用和特點

閱讀:2794      發(fā)布時間:2021-7-2
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 納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,測試結果通過力與壓入深度的曲線計算得出,無需通過顯微鏡觀察壓痕面積 .
 
主要應用
半導體技術(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads);存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層);光學組件(接觸鏡頭、光纖、光學刮擦保護層);金屬蒸鍍層;防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具);藥理學(藥片、植入材料、生物組織);工程學(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)。
 
技術特點
1、*符合ISO14577、ASTME2546;
2、光學顯微鏡自動觀察;
3、*的熱漂移控制技術;
4、可硬度、剛度、彈性模量、斷裂剛度、失效點、應力-應變、蠕變性能等力學數(shù)據(jù);
5、適時測量載荷大??;
6、采用獨立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器;
7、快速的壓電陶瓷驅動的載荷反饋系統(tǒng);
8、雙標準校正:熔融石英與藍寶石 。
 

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