應力雙折射測量系統(殘余應力測量)可以在深紫外（193nm）波段進行應力雙折射探測。針對特定材料制作（氟化鈣）和特定形狀（非球面透鏡）的技術解決方案。
應力雙折射測量系統，非球面透鏡應力雙折射測量，應力橢偏儀，應力橢偏測量,殘余應力測量
不規則非球面光學元件應力分布測量系統（應力雙折射測量系統）通過對光的調制解調可以測出待測光學元件中的雙折射大小和方向，這些數據同時也表示了應力的大小和方向。這套不規則非球面光學元件應力分布測量系統的傾斜，多角度入射掃描技術可以保證對非球面不規則的光學元件（光刻機透鏡等）有著的掃描測量解決方案。
應力雙折射系統用于殘余應力檢測。該應力雙折射測量系統既可作為實驗室科研探索測量光學組件應力分布測量，也可用作諸如玻璃面板，透鏡，晶體，單晶硅/多晶硅、注塑成品等工業生產中檢測產品應力分布。產品軟件直觀顯示待測樣品應力情況，便于操作和日常監測。
應力雙折射系統(殘余應力檢測)可以根據客戶需求選擇設置，使得測量更有針對性（高精度/大范圍相位延遲量），系統有著*測量速度的同時也具有*的測量分辨能力（<1 mm grid spacing ），150AT應力雙折射系統也提供傾斜位移平臺等設計來幫助客戶完成一些非常規掃描/測量需求。
產品特點：
1、自動X/Y位移平臺掃描
2、臺式整機設計組裝
3、靈活位移平臺設計，滿足個性化定制需求
4、數據擬合分析功能和友好用戶界面
5、二維/三維圖形/參數表格顯示樣品應力分布測量結果。
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