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痕量排放氣體分析儀

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  • 痕量排放氣體分析儀
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舉報(bào)
參考價(jià) 200000
訂貨量 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) GA-370
  • 品牌 HORIBA/堀場(chǎng)
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市
在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

更新時(shí)間:2024-07-05 14:16:10瀏覽次數(shù):2290

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 10萬(wàn)-30萬(wàn)
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池
概要
實(shí)現(xiàn)對(duì)高純度氣體連續(xù)監(jiān)測(cè),主要應(yīng)用于空分和半導(dǎo)體行業(yè)。

實(shí)現(xiàn)對(duì)高純度氣體中的痕量雜質(zhì)氣體 (CO, CO2 和 CH4) 的感度連續(xù)測(cè)量。

詳細(xì)介紹

概要

實(shí)現(xiàn)對(duì)高純度氣體連續(xù)監(jiān)測(cè),主要應(yīng)用于空分和半導(dǎo)體行業(yè)。

實(shí)現(xiàn)對(duì)高純度氣體中的痕量雜質(zhì)氣體 (CO, CO2 和 CH4) 的感度連續(xù)測(cè)量。

特征

感度分析

  • 采用交替流動(dòng)調(diào)制方式的非分光紅外吸收原理可以實(shí)現(xiàn)無(wú)零點(diǎn)漂移的長(zhǎng)期安定的連續(xù)測(cè)量。

  • 小檢出限可達(dá)10ppb,尤其適合追求高精度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量。

  • 使高純氣體中的痕量氣體檢測(cè)成為可能。典型平衡氣氣體N2,O2,He,Ar,H2和空氣。

操作簡(jiǎn)單,無(wú)需維護(hù)

  • 使用時(shí)無(wú)需任何特使操作,校正和測(cè)量等全部操作均可在顯示畫(huà)面上進(jìn)行。

  • 采用HORIBA的    技術(shù)-交替流動(dòng)調(diào)制方式,無(wú)需光學(xué)調(diào)整,無(wú)需維護(hù)。

  • 彩色液晶顯示屏,觸摸操作可以顯示彩色趨勢(shì)圖,有更好的可視性 。


典型應(yīng)用

一般情況下,作為工業(yè)用氣體使用的氧氣,氮?dú)馐峭ㄟ^(guò)空氣分離來(lái)制造的。

首先將除去水分和CO2的原料空氣通入分離裝置,分離裝置時(shí)利用氮?dú)狻鍤夂脱鯕馊邭怏w的沸點(diǎn)不同進(jìn)行分離出不同氣體。

氫氣和氦氣也是利用類似的氣體分離裝置制備。

GA-370測(cè)量實(shí)例。高純度氮?dú)狻鍤狻⒀鯕庵圃煨袠I(yè)痕量氣體的測(cè)定。

除去水分、CO2后原料氣體中痕量氣體的測(cè)量。


測(cè)量原理

交替流動(dòng)調(diào)制方式雙光路非分光紅外吸收原理

GA-370用一束紅外光透過(guò)檢測(cè)室射入檢測(cè)器,測(cè)量過(guò)程中通過(guò)切換電磁閥將采用氣體和參比氣體切換通入檢測(cè)室。

測(cè)量樣氣和參比氣體使用相同的氣體(例如零點(diǎn)氣體)時(shí),無(wú)法產(chǎn)生調(diào)制信號(hào),因此不會(huì)產(chǎn)生漂移,解決了 痕量氣體分析中的零點(diǎn)漂移宜問(wèn)題。

而且使用雙光路檢測(cè)氣室,以相反的相位導(dǎo)入測(cè)量樣氣和參比氣體,可實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期安定穩(wěn)定運(yùn)行,無(wú)需光學(xué)調(diào)整。



氣體流程圖

規(guī)格

型號(hào)

GA-370

可測(cè)量的氣體種類

CO, CO2, 和CH4

高純氣體種類

N2, O2, He, Ar, H2, 空氣

測(cè)量組分?jǐn)?shù)目

1 組分或 2 組分
(由平衡氣體種類決定)

測(cè)量原理

交替流動(dòng)調(diào)制方式
雙光路非分光紅外吸收原理

量程

0 to 1/2/5/10 ppm

低檢出限 (2σ)

10 ppb

重復(fù)性

≤ ± 2% F.S.

直線性

≤ ± 2% F.S.

零點(diǎn)量程

≤±0.02ppm/天,≤±0.03ppm/周

量程漂移

≤±2% F. S./天 ,≤±3%F .S./周

響應(yīng)時(shí)間(T90)

≤ 180s

流量 *

測(cè)量氧氣:約 3.5 L/min;參比氣體:約 3.5 L/min
量程氣:約 3.5 L/min
(注: 測(cè)量樣氣和參比氣體的推薦壓力值為50-100 kP)

模擬輸出

多可選兩路絕緣輸出 (2 組分);
0 -1 V,0 -10 V,0 -16 mA,4 - 20 mA,0-20mA
中可選1路
電流輸出: 允許負(fù)載電阻750Ω或以下

安裝環(huán)境

環(huán)境溫度0- 40°C

環(huán)境濕度

≤85%

顆粒物

低于環(huán)境空氣基準(zhǔn)

震動(dòng)

0.29 m/s2,頻率≤100 Hz

外形尺寸和重量

430(W) × 221(H) × 555(D) mm (含突起部分);約18 kg

電源

100 - 240 V AC,≤ ±10% (大電壓 :25 0V )

功率

約100 VA

* 注 1) 參比氣體和量程氣由用戶提供,氣瓶的精度需滿足測(cè)試要求。
* 注 2) GA-370 痕量氣體分析儀在特殊場(chǎng)合下并不安全。例如,在含H2的環(huán)境中使用時(shí)需配合防爆小屋以避免爆炸。





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