 | 上海廣思微凈化設備有限公司 |
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[供應]潔凈室、無塵車間第三方性能檢測及美國NEBB認證
潔凈室性能測試及認證
廣思科技（上海）公司是提供獨立的第三方測試和認證的公司，服務對象涵蓋各種類型的潔凈區域和設施。測試步驟嚴格遵循ISO-14644-1,2 , FS-209E, IES相關條款, NEBB,及由客戶的其它工業標準。
在測試完成后，我們將提供一份詳盡的測試報告。所頒的證書*符合FS-209E及ISO的各項要求。
服務對象
我們服務是對有潔凈室或潔凈空間及所有有潔凈要求的區域進行檢測。
我們服務的行業是有ISO要求，FS-209E要求或GMP要求的半導體，電子業，制藥生物業，醫療保健，硬盤業，科研機構等。
我們服務的內容包括：
潔凈室剛建成時，對潔凈室性能進行第三方獨立的測試及認證，如過濾器檢漏測試，如及時發現因安裝等失誤造成的過濾器漏洞，可避免以后返修的重大損失。
潔凈室的維護及微污染控制追蹤，遵ISO的原則，對潔凈室進行常效的管理和維護。
參考標準
ISO / TC 209 14644 – 1 (懸浮顆粒潔凈等級) | ||||||
ISO Class | 0.1µm(m3) | 0.2µm(m3) | 0.3µm(m3) | 0.5µm(m3) | 1 µm(m3) | 5 µm(m3) |
1 | 10 | 2 | - | - | - | - |
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | - | - |
3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | - |
4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | - |
5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
7 | - | - | - | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
8 | - | - | - | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
9 | - | - | - | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
Federal Standard 209E (懸浮顆粒潔凈等級) | |||||
Class | 0.1µm(ft3) | 0.2µm(ft3) | 0.3µm(ft3) | 0.5µm(ft3) | 5 µm(ft3) |
1 | 35 | 7. 5 | 3 | 1 | - |
10 | 350 | 75 | 30 | 10 | - |
100 | - | 750 | 300 | 100 | - |
1,000 | - | - | - | 1,000 | 7 |
10,000 | - | - | - | 10,000 | 70 |
100,000 | - | - | - | 100,000 | 700 |
測試類型
共有13項測試，如IES-RP-CC006.2 [4]所列，分三大類：
基本項目
- 風量，風速及均衡性:-
此項測試是用于檢測潔凈室或潔凈區內氣流的平均流速或*性，同樣可得出供氣量及流速或*性。
- 過濾器安裝檢漏:-
此項測試是用于確認過濾器是否正確安裝，過濾器的邊緣以及中間隔離層是否有破裂及小漏洞。
- 粒子數量測試:-
此項測試是用于決定潔凈室空態、靜態或動態下是否能符合FS-209E的相關規定的等級。
- 潔凈室壓力測試:-
此項測試是研究潔凈室系統是否有能力維持潔凈室與周邊空間保持特定的壓力。
選擇項目 1
- 氣流平衡性測試:-
此項測試用于發現整個工作區氣流的平衡性是否潔凈室有能力限制內部污染的分散。
- 潔凈室完整性測試:-
此項測試用于查看于潔凈室的連接處，密封處及過道是否有未過濾的空氣滲入。
- 潔凈室還原性測試:-
此項測試用于考察潔凈室在暴露于懸浮顆粒下是否有能力恢復原來的潔凈等級。
- 顆粒塵降測試:-
此項測試用于計算大顆粒的懸浮粒子（那些無法由粒子計數器有效測量到的）。
選擇項目 2
- 光照度測試:-
此項測試用于考察室內的光照強度或均衡性。
- 噪聲測試:-
此項測試用于測算潔凈室機械電子系統產生的噪音。
- 溫濕度測試:-
此項測試用于考察潔凈室控制系統是否能維持空氣的溫度和濕度。
- 震動測試:-
此項測試用于測試潔凈室內的震動水平。
- 地板和墻板的靜電傳導性測試:-
此項測試是研究潔凈室內地板及墻板的靜電傳導性能。
潔凈室的再認證和監控
我們對投入生產運作的潔凈室設施進行階段性的再認證和檢測，確保他們符合各項性能指標。我們齊全的檢驗設備和儀器能大大縮短測試過程和把對生產過程的影響降到zui低。
測試業績
No. | 業主 | 工程名稱 | 測試項目 |
1 | 中芯上海FAB9 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差，地板墻板電阻，自凈測試 |
2 | 中芯成都 FAB11 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差，地板墻板電阻，自凈測試 |
3 | 中芯北京FAB4 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差，地板墻板電阻，自凈測試 |
4 | 中芯武漢 FAB12 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差，地板墻板電阻，自凈測試 |
5 | 英飛凌科技（蘇州）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度，噪音，壓差，地板電阻，氣流流形，自凈測試 |
6 | 凸版光掩模 （上海）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差，地板電阻，氣流流行，自凈測試 |
7 | *半導體制造（上海）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差，地板電阻 |
8 | 中微半導體（上海）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差 |
9 | 安靠封裝測試（上海）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差，地板電阻，自凈測試 |
10 | 敦南科技（無錫）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差 |
11 | 三星半導體（蘇州）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 潔凈度，風速及風量，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差 |
10 | 希捷科技（無錫）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差，地板電阻，氣流平行度 |
11 | 微密科技（無錫）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差 |
12 | 西安中衛電子科技有限公司 | 潔凈室測試與管道測試 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差，管道潔凈度，氦檢漏，保壓測試 |
13 | 羅氏制藥(上海）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風量，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差，氣流流行 |
14 | 日本電產（浙江）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 潔凈度，風速，溫濕度 ，壓差 |
15 | 福群電子（無錫）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差 |
16 | 通用電氣藥業 （上海）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風量，光照度，噪音，壓差，地板電阻 |
17 | 美德福（無錫）精密機械有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度，噪音，壓差 |
18 | 超科林半導體設備（上海）有限公司 | 潔凈室測試與NEBB認證 | 過濾器檢漏，潔凈度，風速，溫濕度 ，光照度， 噪音，壓差 |
*以上測試案例為上海分公司zui近期部分測試案例。
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