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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 應用領域 | 電子/電池,綜合 |
Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺MAX603D，納米定位
Thorlabs的NanoMax™ 6軸納米定位撓性位移臺采用平行的撓性設計確保精確平滑的連續(xù)運動，摩擦幾乎可以忽略。對于復雜的多軸定位應用，平行撓性位移臺將三個以上自由度集成在單個小型裝置中，明顯比按序堆疊位移臺的設計具有好的性能。非常適合光纖耦合系統(tǒng)，或需要亞微米分辨率的應用。
同時我們提供帶或不帶預配置壓電驅動器（開環(huán)/閉環(huán)）、差分或步進電機驅動器的版本。位移臺的標稱載物臺高度為112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度為112.5 mm的5軸位移臺套件。我們也提供轉接板，用于將3軸和4軸撓性位移臺的載物臺高度從62.5 mm提升到112.5 mm，從而兼容我們的NanoMax™6軸位移臺。
我們的6軸NanoMax位移臺作為功能強大的納米定位工具還有2個創(chuàng)新點：一是公共旋轉支點，二是將所有調節(jié)器直接耦合到底座的專有設計，以盡量減少系統(tǒng)中不必要的運動。
公共旋轉點
如下圖所示，每個NanoMax 6軸位移臺在移動平臺前都有不銹鋼探針，標記所有旋轉軸的公共支點。所有旋轉軸具有公共支點，可以減少系統(tǒng)的對準時間，因為這樣在調整θx、θy和θz時不需要補償橫向運動。如果移動平臺開始平移，支點也會相對底座移動，保持支點和移動平臺的相對位置。
可拆下的不銹鋼探針頂部標記了所有旋轉軸的公共支點
點P是所有三個旋轉軸（偏轉、俯仰和擺動）的公共支點。
精密驅動
NanoMax™6軸位移臺提供預配置差分測微頭驅動器或步進電機驅動器的位移臺，即開即用。NanoMax 6軸位移臺的模塊化設計允許在任何時候拆卸和更換驅動器。驅動器都直接耦合到底座，以盡量減少系統(tǒng)中不必要的運動。這種特性非常適合需要亞微米級分辨率的應用。對于納米定位應用，我們有內(nèi)置壓電驅動器的版本包括開環(huán)和閉環(huán)。
壓電選項
開環(huán)或閉環(huán)的壓電選項讓這些位移臺實現(xiàn)納米級的分辨率。內(nèi)置于位移臺的壓電驅動器具有30 µm的行程，可使用多種開環(huán)或閉環(huán)壓電控制器控制。將這些位移臺與NanoTrak控制器(K-Cube、臺式或機架系統(tǒng)模塊)耦合時，系統(tǒng)具有強大的自對準功能，能夠維持光通量，并消除由于熱漂移或其它外力引起的耦合效率損耗。這些壓電位移臺包含6根PAA100驅動電纜，在閉環(huán)系統(tǒng)的情況下，包含6根PAA622反饋變換器電纜。
具有開環(huán)壓電驅動器的位移臺沒有應變儀位移傳感器，非常適合需要定位分辨率低至20 nm的應用。帶閉環(huán)壓電驅動器的版本內(nèi)部有應變儀位移傳感器，可提供與壓電元件的位移呈線性比例的反饋電壓信號。這種反饋信號將分辨率提高到5 nm，可用于補償所有壓電元件中固有的遲滯、蠕變和熱漂移，使這些位移臺成為需要納米級分辨率應用的好的選擇。
請注意，壓電機制利用與測微計驅動器的接觸來移動頂部平臺。不管出于任何原因，如果位移臺在拆除測微計驅動器的情況下工作，必須在壓電驅動器運行之前安裝盲塞。
配件的簡易對準
我們提供多種配件來安裝產(chǎn)品，比如顯微物鏡、準直器、波導、光纖等更多產(chǎn)品。這些配件可以通過中心鍵槽在6軸位移臺的頂部平臺上輕的松實現(xiàn)對準。頂部平臺的中心鍵槽便于快速重新配置系統(tǒng)，同時還能在整個實驗中維持配件的對準。
Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺MAX603D，納米定位
產(chǎn)品特性與參數(shù)
X軸、Y軸和Z軸行程為4 mm(0.16英寸)
θx、θy、θz(擺動、俯仰和偏轉)行程為6°(105 mrad)
公共支點，實現(xiàn)所有旋轉自由度，簡化對準，減少串擾
平行撓性設計，確保平滑連續(xù)的運動和長期的穩(wěn)定性
頂板帶凹槽，確保多軸位移臺配件的對準
壓電選項提供z高1 nm的分辨率
高剛度撓性設計：
X軸和Z軸：1 N/µm
Y軸：0.5 N/µm
共振頻率高：>130 Hz(±10%)
一體式單移動平臺設計
所有調節(jié)器都耦合到底座，將串擾降到z低
模塊化設計，便于交換驅動器
維護成本低，降低總持有成本
不帶驅動器
帶步進電機驅動器
帶差分驅動器
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