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美國派克PARKER隔膜減壓調(diào)壓閥

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更新時間:2024-11-25 15:42:47瀏覽次數(shù):1144

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美國派克PARKER隔膜減壓調(diào)壓閥:二級減壓調(diào)壓閥,為高壓超高純度(UHP)應(yīng)用而設(shè)計。該系列產(chǎn)品擁有優(yōu)異的穩(wěn)定性并降低供給壓力作用的影響 - 不管入口壓力如何波動,出口壓力保持穩(wěn)定。

詳細(xì)介紹

美國派克PARKER隔膜減壓調(diào)壓閥簡介:

派克Veriflo部門的735W和NPR735W(亞大氣壓)系列閥門,是為高壓氣體分配系統(tǒng)而設(shè)計,特別是用于超高純度(UHP)半導(dǎo)體制造操作系統(tǒng)。 該系列產(chǎn)品適用于惰性和腐蝕性氣體,具有二級隔膜設(shè)計,可大限度地減少供給壓力的影響; 因此,無論入口壓力如何波動,都能提供穩(wěn)定的出口壓力。


735W系列調(diào)壓閥具有*的壓縮構(gòu)件,其在潤濕區(qū)域無螺紋,從而提高泄漏完整性,并減少顆粒的產(chǎn)生和截留的風(fēng)險。此種調(diào)壓閥配有100級潔凈室,由Veriflo專有的Vericlean™ 316L不銹鋼制成,并帶有PCTFE(聚三氟氯乙烯)或者 Vespel®(聚酰亞胺)閥座。這些材料,標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電拋光和哈氏合金C-22® 隔膜和提升閥相結(jié)合在一起,使調(diào)壓閥入口壓力高達3,500 psig時都能保有其的耐腐蝕性和清潔度。閥座還具有自定位設(shè)計,可做重復(fù)有效關(guān)閉,穩(wěn)定的密封性,以及J確
的壓力調(diào)節(jié)。它通過集成的過濾網(wǎng)保護其不受上游氣缸帶來的污染。


735W系列調(diào)壓閥,當(dāng)閥座出現(xiàn)泄漏時,閥門關(guān)閉以阻隔帶有腐蝕性或有害氣體泄漏,并且通過消除下游潛在的聚積高壓而提高安全性。調(diào)壓閥內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進行內(nèi)外部氦氣泄露檢測,以確保在苛刻的要求清潔度的UHP應(yīng)用中,保有其性能和可靠性。

美國派克PARKER隔膜減壓調(diào)壓閥描述:

市場:
• 半導(dǎo)體
• 分析實驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)

特點和優(yōu)勢:
• *的壓縮構(gòu)件無需螺紋穿孔將密封與本體連接在一起
• 高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性)
• 內(nèi)部彈簧設(shè)計小化顆粒的產(chǎn)生和氣體截留
• 金屬對金屬隔膜到閥體的密封確保高泄漏完整性
• 內(nèi)部泄漏率:<2 x 10-9 scc/sec He (額定)
• 外部泄漏率:<2 x 10-10 scc/sec He
• 全壓力范圍使用:從真空到3,500 psig (NPR735W可用于亞大氣壓的壓力控制)
• Cv 0.04
• 標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電拋光

應(yīng)用:

• 腐蝕性氣體和特種氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具連接
• 燃?xì)夤?br/>• 閥組箱(VMB)
• 上游工藝管線

更多派克產(chǎn)品咨詢,請見:派克PARKER隔膜減壓調(diào)壓閥


 

 

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