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| 重量 | 1kg |
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產品簡介
詳細介紹
特點
- 世界范圍的單晶硅電有的采用效果，避免了由于具有超低顆粒特性的電極材料而導致的金屬污染風險
- 高電荷去除性能，使用*的MP（脈沖調制）方法有效地將離子傳輸到目標
- 小的電位擺動特性，即使在100 mm距離和離子平衡時也可以使用，并且在橫桿長度上的偏置較小
- 通過智能控制電路隨時自動控制離子發生狀態和離子平衡
- 可拆卸的電極可以1/4轉動移動，有助于減少維護工時
- MP系統極小的電位擺動簡化了設置，小電位擺動有效地保持了控制標準內的長期離子平衡。
- 根據EFEM進行半導體預處理設置條的長度
- 緊湊型設計，內置24V直流驅動控制器
- 范圍內提供高級支持網絡
規范
型號5635 AeroBar MP
| 輸入電壓 | 24V DC +/- 10％ |
|---|---|
| 輸出電壓 | 高達約13.5kv pp可調 |
| 安裝距離 | 100mm至1000mm（無空氣吹掃） |
| 離子發生系統 | 電暈放電方法 MP（脈沖調制）方法調制頻率1至33 Hz |
| 離子平衡 | 自動平衡調整方法 <±10 V在條形差異中的位置<±10 V （600 mm距離） |
| 電極 | 單晶硅電極可更換 |
| 吹掃氣體 | 清潔干燥空氣或N2 |
| 大吹掃壓力 | 310 Kpa |
| 臭氧量 | <0.05 ppm（24小時積分值） |
| 信號輸出 | 報警IO開路集電極輸出 |
| 維 | 高度78mm x深度34mm x長度在下方 |
| 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350 mm | |
| 外觀 | ABS樹脂 |