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產品簡介
脈沖激光沉積（Pulsed Laser Deposition，PLD），也被稱為脈沖激光燒蝕（Pulsed laser ablation，PLA）指的是用激光使材料揮發,從而將材料鍍在所要求的樣品（襯底）上的薄膜沉積技術。PLD-301脈沖激光沉積系統是日本誠南工業根據客戶的要求，在豐富經驗的基礎上設計制造的，采用PBN加熱器，可將基板加熱到1000℃以上，并采用氧氣氣氛，從而生產出高質量的薄膜。
詳細介紹
脈沖激光沉積（Pulsed Laser Deposition，PLD），也被稱為脈沖激光燒蝕（Pulsed laser ablation，PLA）指的是用激光使材料揮發,從而將材料鍍在所要求的樣品(襯底)上的薄膜沉積技術。PLD-301脈沖激光沉積系統是日本誠南工業根據客戶的要求，在豐富經驗的基礎上設計制造的，采用PBN加熱器，可將基板加熱到1000℃以上，并采用氧氣氣氛，從而生產出高質量的薄膜。
誠南工業PLD-301脈沖激光沉積系統設備配置
薄膜沉積室
樣品交換室
閘閥
閘閥（沉積室和樣品交換室之間）
沉積室用真空計
樣品交換室用真空計
沉積室排氣系統
樣品交換室排氣系統
襯底加熱系統
靶材臺系統
激光鐳射
臺架
可選項
電子槍
襯底加熱系統
手套箱
手套箱運送機構
基材溫度測量用溫度計
離子泵
誠南工業PLD-301脈沖激光沉積系統規格
沉積室中達到的真空度：1×10-6Pa以下
表面處理：電拋光（內表面鏡面拋光后）
排氣系統：渦輪分子泵+旋轉泵，輔助閥、排氣管道部件
樣品交換室達到的真空度：1×10-4Pa或更低
表面處理：電拋光（內表面鏡面拋光后）。
排氣系統：渦輪分子泵+旋轉泵，輔助閥、排氣管道部件
誠南工業PLD-301脈沖激光沉積系統的使用：
先將真空室抽到一定真空度, 靶面與基片平行放置, 激光束經由石英透鏡聚焦到旋轉的目標靶材上， 靶材和試樣托分別以一定速度自轉，以保證沉積薄膜層的均勻性。