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當前位置：北京漢達森機械技術有限公司>>光學儀器>>光學實驗設備>> P-363.3CD德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD
德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD
X、Y向上的螺距/偏轉角：0.5微弧度
Z向運動時的傾斜：0.2微弧度
應用領域：
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描和篩選
產品參數：
型號：P-363.3CD
主動軸：X、Y、Z
集成傳感器：電容式
-250至+250伏時X、Y向上的開環行程：±3微米
-250至+250伏時Z向上的開環行程：±2.7微米
X、Y向上的閉環行程：±2.5微米
Z向上的閉環行程：±2.5微米
分辨率，開環：0.03納米
分辨率，閉環：0.1納米
線性誤差：0.05%
重復精度：1納米
X、Y向上的螺距/偏轉角：0.5微弧度
Z向運動時的傾斜：0.2微弧度
X、Y向上的直線度：3納米
X、Y向上的平面度：<10納米
X、Y向上的串擾（Z向運動）：5納米
X、Y向上的空載諧振頻率：3.1千赫茲
Z向上的空載諧振頻率：9.8千赫茲
帶負載時X、Y向上的諧振頻率：1.5(20克)千赫茲
負載容量：10牛
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD
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