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技術參數
API激光干涉儀5D/6D標準型：
1. 線性：0.5ppm .
2. 測量范圍：40米(1D可選80米)
3. 線性分辨力：0.001um.
4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
5. 最大范圍：800角秒
6. 滾動角精度：1.0角秒
7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
8. 直線度最大范圍：500um
9. 垂直度精度：1角秒
10. 溫度精度：0.2攝氏度
11.濕度精度：5%
12.壓力精度：1mmHg
API激光干涉儀主要特點
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。
5. 全套系統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間
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