德國spectron德國spectron減壓閥E53-VCR產品特性：

• 雙級式減壓閥

• 減壓閥可用于真空

• 高精度控制壓力

• 對外界是金屬對金屬的密封方式

• 高表面質量

• 內置過濾器

• 綁定式膜片結構

• **小的內部空間設計以減少吹掃次數

• 電解拋光表面(與氣體接觸區域)

• 通過調節手輪方便地控制輸出壓力

• 100 % 氦氣檢測

• 在ISO 5.0等級的潔凈室內組裝

德國spectron德國spectron減壓閥E53-VCR技術參數：

材料：閥體:不銹鋼 1.4404 (SS 316L)

膜片: : 哈氏合金 C276

其它與氣體接觸零件: 不銹鋼 1.4404 (SS 316L)

密封件: PCTFE 、PTFE或 PVDF

表面粗糙度：R?,** ≤ 0,25 µm

R?,平均 ≤ 0,18 µm

泄漏率：(對外): 1 x 10?? mbar l/s He

(對內): 1 x 10?? mbar l/s He

溫度范圍：-20°C 到 +60°C

C?-值：0,24

重量：1,7 kg

進-氣接口：1/4"-VCR -M 或

1/4"-VCR -F