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Sierra的SmartTrak 100熱質量流量控制器是一款多氣體數字MFC，旨在提供您每次可依靠的平穩，穩定，準確和可重復的氣體質量流量控制。不受上游氣體溫度和壓力波動的影響，Sierra SmartTrak 100的氣體質量流量控制是直接而明確的。SmartTrak已獲得CE認證，可在您 的較大流量范圍（高達1000 slpm或更高）下使用，具有各種尺寸，工業防水外殼，工作壓力和溫度以及行業尺寸。
采用熱技術的直接質量流量+/- 0.5％滿量程精度。
多氣體數字質量流量控制器。
50 slpm的占地面積小，非常適合OEM。
主要標準的10點NIST校準。
所有清潔氣體，包括有毒和腐蝕性
高精度：滿量程的+/- 0.5％
精度：滿量程的+/- 1％
重復性：滿量程的+/- 0.2％
流量范圍從0-10 sccm到0-1000 slpm（nlpm）
更高和更低的流量范圍
壓力至500 psig（34.5 barg）
氣體/環境溫度32°F至122°F（0°C至50 C）
響應時間：300ms時間常數：2秒（典型值），在終值的±2％之內（包括建立時間），根據要求提供更快或更慢的速度
24 VDC電源
密封件：Viton，Neoprene，Karlez
316不銹鋼結構
包括模擬或數字信號：RS-232，RS-485（多點），0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
數字通信： 基金會現場總線 和 Modbus RTU
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