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江蘇氣體質量流量計的MFM/MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，產品基于毛細管柱熱式原理，主 要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。 MFM/MFC330 系列氣體質量流量控制器具有精度高、重復性好、響應速度快、穩定性好、工作壓力范圍 寬、極低零漂等特點。模擬量和數字量等多種通訊方式可選，內置顯示屏可選，操作配置靈活。 MFM/MFC330廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、特種材料學科、石油化工、醫藥、環保等行業的氣流 測量和控制。其典型的應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、 離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀、光譜儀、 質譜儀及其它分析儀器。

標準狀況的定義 氣體質量流量通常用標準狀態下的體積流量來表示，由于標準狀態下氣體的密度是一個常數， 該密度乘以標準狀態下的體積就是質量數。所以標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。 質量流量單位為： SCCM： 標準毫升/分鐘；SLPM： 標準升/分鐘 標準狀況定義為： 溫度 20℃（293.15K）；氣壓 1 atm（101.325Kpa，760mmHg） 單位 SCCM 等同于“mL/min, 20℃, 1atm)，單位 SLPM 等同于“L/min, 20℃, 1atm) 氣體質量流量計/流量控制器出廠通常用 N2 氮氣標定，亦可按照用戶要求的氣體來進行特標。 MFC/MFM 的標準安裝方式為水平安裝，其他安裝方式請聯系廠家獲取技術支持。

4 主要技術指標 MFC33