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mfc330-微小氣體流量控制器
  • mfc330-微小氣體流量控制器
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貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào) 半導(dǎo)

更新時(shí)間:2025-01-24 15:47:37

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MFC330 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
MFM / MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器, 其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

MFC330 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

MFM / MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器, 其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

介質(zhì)要求 Applicable media

潔凈干燥氣體 Clean, dry gases

氣體種類(lèi) Gas type

98+氣體可選 Available for 98+ types of gas

量程 Full Scale(N2 equivalent)

0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm

測(cè)量范圍measurement range

0.5%F.S. (1:200)

控制范圍 Control range

1% - 1  00% F.S. (1:100)

準(zhǔn)確度 Accuracy

標(biāo)準(zhǔn) Standard±1% F.S.   高精度High Performance±0.5%

重復(fù)精度Repeatability

±0.2% F.S.

線性度Linearity

±0.2% F.S.

控制響應(yīng)時(shí)間 Settling time (in control)

<3秒  

預(yù)熱時(shí)間 Warm-up time

5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy

閥門(mén)Valve function

常閉式 Normally Closed

泄露率 Leak integrity

1*10-8 Pa·m3/sec He



機(jī)械特性 MECHANICAL

工作壓力 Maximum pressure

3 MPa (30bar

工作壓差范圍 Operating differential pressure

0 ~ 1 MPa

工作溫度范圍Operating temperature range

-20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體 ambient and gas)

濕度范圍 Relative humidity range

0 ~ 98% 無(wú)凝露 No-condensing

氣路接頭類(lèi)型Process connections

卡套,、VCR、快插、快擰 (可選)

(Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional)

氣體接觸材質(zhì)Material

氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel)

密封材質(zhì)Seals

氟橡膠 FKM

防護(hù)等級(jí) Ingress protection (housing)

IP40

安裝方式 Mounting

水平安裝方向校準(zhǔn) Calibrated in horizontal mounting orientation

固定孔 Mounting holes

M4   5mm

重量 Weight

0.96 kg




我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器(以下簡(jiǎn)稱(chēng) MFC330),

主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高

性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡(jiǎn)潔直觀的操作界面,使氣體流量控

制更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定和簡(jiǎn)便,內(nèi)置溫度和壓力傳感器,采集氣路溫度、壓力值

外,進(jìn)一步對(duì)氣體流量控制進(jìn)行溫壓補(bǔ)償;支持多種通訊協(xié)議,可以方便高

效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機(jī)等進(jìn)行通訊;具有多氣體測(cè)量,高

精度,高穩(wěn)定性,極低零漂等特性。

MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工

業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型

的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻

蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系

統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器



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