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MFC330高精度氣體流量控制器 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

高精度氣體流量控制器（MFC）是一種用于精確測量和控制氣體流量的高精度儀器?。它基于熱式質(zhì)量流量傳感技術(shù)，通過加熱元件和溫度傳感器測量氣體流經(jīng)時的熱量變化，從而推算氣體的質(zhì)量流量，并根據(jù)設(shè)定值進行調(diào)節(jié)?。

工作原理

MFC的工作原理基于熱式質(zhì)量流量傳感技術(shù)。它利用一個加熱元件和溫度傳感器，通過測量加熱元件散熱量的變化來推算氣體的質(zhì)量流量。當(dāng)氣體流過加熱元件時，會帶走一部分熱量，導(dǎo)致加熱元件的溫度下降。通過測量溫度下降的程度，MFC可以計算出氣體的質(zhì)量流量，并根據(jù)設(shè)定值對流量進行調(diào)整?

應(yīng)用領(lǐng)域

MFC因其高精度和穩(wěn)定性，在多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。在半導(dǎo)體制造中，MFC用于精確控制蝕刻、沉積等工藝中的氣體流量，確保產(chǎn)品質(zhì)量。在燃料電池領(lǐng)域，MFC用于調(diào)節(jié)氫氣和氧氣的供應(yīng)，提高電池性能和安全性。此外，MFC還廣泛應(yīng)用于化工、醫(yī)療、環(huán)保等領(lǐng)域，為各種氣體流量控制需求提供解決方案?

特點

?高精度?：采用先進的傳感器技術(shù)和算法，確保流量控制精度達到行業(yè)水平?

?寬量程?：支持多種氣體種類和寬泛的流量范圍，滿足不同應(yīng)用場景的需求?

?快速響應(yīng)?：具備快速響應(yīng)能力，能迅速調(diào)整并穩(wěn)定至設(shè)定流量值?

?穩(wěn)定性好?：長時間運行下仍能保持流量穩(wěn)定，減少波動對實驗或生產(chǎn)的影響?

?易于操作?：配備直觀的操作界面和人性化的軟件設(shè)計，簡化操作流程?