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GD系列配氣設備
| 配氣設備 | ||
| 型號 | 類型 | 氣路數(個) |
| GDT | 臺式 | 2~4 |
| GBF | 落地式 | 2以上 |
四路混氣系統
技術參數
| 項目/型號 | GDT-MFC-4 |
| 適配電源 | AC220V 50/60HZ |
| 流量計標準量程 | 100sccm/200sccm/300sccm/500sccm（非特殊以氮氣標定，量程可選） |
| 工作溫度 | 5~45℃ |
| 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
| 壓力 | 流量計耐壓壓力3MPa、系統出口壓力=<0.3MPa（其他非標壓力，須定制） |
| 準確度 | ±1.5% FS |
| 測量范圍 | -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
| 針閥 | 316不銹鋼 |
| 截止閥 | 316不銹鋼針閥 |
| 尺寸 | 260*450*450 mm |
| GD系列配氣設備選型表 | ||
| 類型 | 參數 | 選型代碼 |
| 流量計 | 玻璃轉子型 | GRF |
| 質量流量型 | MFC | |
| 2 | 2 | |
| 3 | 3 | |
| 氣路數 | 4 | 4 |
| 定制 | -- | |
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