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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商，成立于1958年，專注于質量流量計（MFM）、質量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發生產，產品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應用于半導體、光伏、醫療和化工等領域。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
EXE-FLOWTM以Exact“正確的流量測量"優秀我們已經將“優秀功能"概念商業化。
有11種標準庫存，涵蓋從小流量（F.S.10 sccm）到大流量（F. S. 200 slm）。
配備新型高性能傳感器的低成本型號
體積小，重量輕，單電源DC24V驅動
配備RS-485通訊功能標準
符合RoHS,CE標準
集成指示燈操作簡單
•瞬時•累積流量顯示 •氣體類型轉換 •CF任意設置
•上下限報警設置 •流量單位變更 •低頻截止設置
•局號設置 •通訊傳輸速度變更 etc
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
|---|---|---|---|
| 流量范圍（N2） | 10/50/100/500 SCCM 1/5/10/20 SLM | 50/100/200 SLM | |
| 可指定氣體（* 1） | N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等/通過CF轉換切換） | N2（空氣切換，Ar / CF轉換） | |
| 響應 | 2秒以內 | ||
| 精度（* 2） | ±1.0%F.S. (25℃) | ±1.5％FS（25°C） | |
| 溫度系數 | ±0.2%F.S./℃ (15～35℃) ※200SLMのみ±0.4%F.S./℃ | ||
| 再現性 | ±0.2%F.S. | ||
| 耐壓 | 980ｋPa(G) | ||
| 允許周圍溫度 | 5～50℃ | ||
| 允許保管溫度 | -10～60℃ | ||
| 允許工作濕度 | 10～90%RH （無結露） | ||
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，PTFE，FKM（可選NBR，CRP） | ||
| 電氣連接 | DC插孔或Dsub 9針公頭 | ||
| 數字通信 | RS 485（MODBUS協議，RTU模式）ID：1-247 | ||
| 所需電源（DC） | 24VDC(±10%) 100mA以下 | ||
| 接頭 | 1/4F900（標準） | 3/8F900（標準） | |
| 控制針（可選） | MODEL2412 | MODEL2412D | |
| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 | ||
| 輸出 | 輸出方式 | NPN開集 2點（最大額定值：DC30V 50ｍA） | |
| 輸出數量 | 2點（每個輸出可以選擇并設置為瞬時流量上限，下限，上限/下限或積分到達，積分脈沖也可以在1點選擇。）輸出反轉是可能的 | ||
| 活動展示 | LED燈（OUT1，OUT2）亮起 | ||
| 模擬輸出（* 4） | ①4～20mA (500Ω以下) ②0～5V (10kΩ以上) ③1～5V (10kΩ以上) | ||
| 重量 | 約600g （不含接頭） | 約700g （不含接頭） | |
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