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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商，成立于1958年，專注于質量流量計（MFM）、質量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發生產，產品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應用于半導體、光伏、醫療和化工等領域。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
5410型是一種質量流量計，具有進一步改進的基本性能。
雖然外觀是傳統產品，但傳感器驅動方法已得到改進，以減少零漂移。
它是一種通過金屬密封結構具有高氣密性的產品，并增加了切口接頭。
提高每個流量范圍的精度
適用于微流量（選項規格）
由于無焊接結構（VCR規格），金屬密封，泄漏低
價格便宜
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意條件選擇） | |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 準確性 | ±1％F.S.（20°C） | |
| 溫度系數 | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現性 | ±0.2%F.S.（20°C）內 | |
| 可工作壓力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃（精度保證溫度15.35°C±0.1％FS /°C） | |
| 允許環境濕度 | 10~90%RH（無結露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 隔膜Ni.Co | ||
| 閥座PTFE | ||
| 密封材料SUS316L，Ni | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC 標準（符合SEMI標準） | |
| 流量設定 輸入信號 | 0~5 VDC（最小負載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）100 mA | |
| 配件（車身尺寸） | 標準1/4 VCR等效 | |
| 重量 | 約800g | |
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