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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商，成立于1958年，專注于質量流量計（MFM）、質量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發生產，產品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應用于半導體、光伏、醫療和化工等領域。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
MODEL3810DSII是一款質量流量計，其指示器與經過驗證的流量傳感器集成在一起。
除了傳統的瞬時流量，還增加了集成流量顯示。
此外，還有一個模型，集成了流量傳感器和精密針閥，如傳統的3810 DS。
流量可以直接在上部顯示屏上讀取，也可以通過100.0％表達式確認
只有連接24 VDC電源才能測量流量
小巧輕便，結構緊湊
精密針閥可實現精確的流量控制和監控
流量監控有2個報警輸出
具有瞬時流量/模擬信號輸出，集成流量/脈沖信號輸出
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 10SCCM~20SLM | 21~100SLM |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 準確性 | ±2％F.S.（25°C以內） | ±3％F.S.（25°C以內） |
| 工作壓力 | 0.0~0.5MPa（G） | |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃ | |
| 允許環境濕度 | 30~80%RH（無結露） | |
| 溫度系數 | ±0.2％FS /°C（15~35°C） | |
| 氣體接觸材料 | 主體：SUS303，PTFE | |
| 密封材料：FKM | ||
| 選項：氯丁橡膠 | ||
| 連接孔徑 | 標準：Rc1 / 4（其他請咨詢） | |
| 所需電源 | DC24V±5％100mA（選件：AC適配器） | |
| 流量輸出信號 | 1.5V，4.20mA（訂單選擇） | |
| 活動輸出 | NPN開路集電極輸出2級 最大額定值DC30V 50mA | |
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