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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商，成立于1958年，專注于質量流量計（MFM）、質量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發生產，產品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應用于半導體、光伏、醫療和化工等領域。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列開發的緊湊型低成本質量流量計。
它是作為大學和研究機構研發應用的各種分析儀器和真空設備的標準模型而開發的。
配備流量傳感器，采用改進的恒流溫差檢測方法，實現高速響應
我們不選擇緊湊的身體設置的地方
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 模型 | 3760 | 3765 |
|---|---|---|
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 10SCCM~20SLM（可選） | 30SLM~100SLM（可選） |
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 響應速度 | 在2秒內 | 在3秒內 |
| 準確性 | ±1.0％FS（25°C） | ±1.5％FS（25°C） |
| 溫度系數 | ±0.1％FS /°C（15~35°C） | ±0.2％FS /°C（15~35°C） |
| 再現性 | ±0.5％F.S.（20°C） | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | |
| 允許環境濕度 | 10~90%RH（無結露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR） | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA, -15 VDC（±5％）100 mA | |
| 接頭 （體型） | 標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | 標準3 / 8F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等 |
| 重量 | 約800g | 約1000g |
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