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產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
---|---|---|---|
價格區間 | 1-5千 | 介質分類 | 氣體&液體 |
應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
輕巧小型的帶針閥流量計。基于合理化而設計的流量計,價格低廉,精度高,重現性好,易于操作。
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
用于科學測量設備 帶針閥的吹掃流量計
設計精巧
價格低廉
實現超小型化
種類豐富
用途
用于環境測量設備
用于一般分析設備
用于吹掃設備
用于半導體相關設備
技術優勢
熱式技術(氣體):
基于熱擴散原理,直接測量氣體質量流量(無需溫壓補償)。
低流量靈敏度:可檢測0.1 sccm(如半導體工藝氣體控制)。
壓差式技術(液體):
通過層流元件產生壓差,線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計:接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能:
數字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自診斷報警(流量超限、傳感器異常)。
典型應用場景
半導體制造
案例:晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量穩定性±0.5%,響應時間<1秒。
配置:鈦合金流道(耐Cl?腐蝕)+ 防爆認證(Ex d IIC T6)。
光伏產業
案例:硅烷(SiH?)氣體輸送(MFC-3000系列)。
挑戰:硅烷易燃易爆,需杜絕泄漏風險。
方案:全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例:腐蝕性液體(如鹽酸)定量添加(RK-2400系列)。
材質選擇:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
流體名稱 | Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(實際氣體校準) 其他氣體在轉換后進行校準,實際氣體校準請另行咨詢 | |
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流量范圍 (FS) | 1L,2L,3L,5L,10L,15L,20L/MIN | |
精度 | FS±5%(計量點) | |
耐壓 | 05L / MIN以下:0.7MPa 10L / MIN以上:0.5MPa | |
有效刻度 | 10:1 |
材質 | S制 | BS制 | |
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主體區塊等 | SUS304、SUS303 | 黃銅,SUS303 | |
錐形管 | 硬玻璃 | ||
密封材料 | 氟橡膠 | NBR | |
浮標 | 硬玻璃、SUS316 | ||
保護罩 | 丙烯 | ||
最高使用溫度 | 60℃ | ||
連接 | Rc1 / 8(標準) |