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產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
---|---|---|---|
價格區間 | 1-5千 | 介質分類 | 氣體&液體 |
應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
本設備是基于RK系列(1200,2000)研發出的產品,無論是小流量還是大流量
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
低成本流量計。黃銅、SUS,2種型號可供選擇
低壓損,可進行測量控制
F.S.10L/MIN~F.S.1000L/MIN的范圍內都支持
也可以咨詢容量列表以外的氣體
技術優勢
熱式技術(氣體):
基于熱擴散原理,直接測量氣體質量流量(無需溫壓補償)。
低流量靈敏度:可檢測0.1 sccm(如半導體工藝氣體控制)。
壓差式技術(液體):
通過層流元件產生壓差,線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計:接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能:
數字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自診斷報警(流量超限、傳感器異常)。
典型應用場景
半導體制造
案例:晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量穩定性±0.5%,響應時間<1秒。
配置:鈦合金流道(耐Cl?腐蝕)+ 防爆認證(Ex d IIC T6)。
光伏產業
案例:硅烷(SiH?)氣體輸送(MFC-3000系列)。
挑戰:硅烷易燃易爆,需杜絕泄漏風險。
方案:全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例:腐蝕性液體(如鹽酸)定量添加(RK-2400系列)。
材質選擇:哈氏合金C276流道 + PTFE密封
流量范圍(L/MIN) | 壓力損失(kPa) | 浮標材質 | |||
---|---|---|---|---|---|
AIR | O2 | LNG(天然氣) | C3H8(丙烷) | ||
3?30 | 3?30 | 4?40 | 2.5?25 | 0.6 | POM (聚甲醛白) |
5?50 | 5?50 | 8?60 | 4?40 | 0.7 | |
10?100 | 10?90 | 20?120 | 10?80 | 1.5 |
材質 | B | S | |
---|---|---|---|
主體區塊 | 黃銅 | SUS304 | |
精度 | FS±5%(測量點) | ||
錐形管 | 硬玻璃 | ||
密封材料 | NBR | 氟橡膠 | |
保護罩 | 丙烯 | ||
最高使用溫度 | 50℃ | ||
接口 | RC 3/8 |