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產品簡介
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
背壓控制閥是一種能將背壓閥前段的壓力設為恒定的泄壓閥，可輕松、迅速地進行一般的后段控制調壓閥難以實現的操作，如：控制帶有大型緩沖器的水槽的壓力、抽取混合氣體的恒定流量等。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 背壓閥
KOFLOC科賦樂 背壓閥
便于安裝的面板裝配型
小型緊湊設計
可以高速調節一次側壓力
清潔結構
這是一種綠色無油閥，可在純凈狀態下進**體控制。
用途
控制水槽壓力
控制混合氣體的恒定流量
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封
| 型號 | 6800A | 6800B | 6800AL | 6800BL |
|---|---|---|---|---|
| 設定壓力 | 0.01?0.3MPa | 0.01?0.6MPa | 0.01?0.3MPa | 0.01?0.6MPa |
| *大排氣流量 | 1L/MIN | 0.8L/MIN | 10L/MIN | 10L/MIN |
| 耐壓力 | 0.8MPa | |||
| 環境溫度 | 5℃?60℃ | |||
| 接口 | Rc1/4（標準）、Rc1/8 | |||
| 流體接觸部分材質 | （A）鋁、黃銅、NBR （SS）SUS303、氟橡膠、氟樹脂 | |||
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