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產品介紹
KOFLOC科賦樂 壓力調節閥
KOFLOC科賦樂 壓力調節閥
小巧的大流量專用壓力調節閥
輕便小巧的同時還具有大流量環境下的良好控制特性，對于一次壓力、二次壓力變化的重現性高達±1％。
隔絕流體
若將二次壓力設為0，它還兼具截止閥的效果。
*適合用于串聯安裝
流體進出口設置在本儀器的側面，便于敷設管道。
不滲液型
本產品屬于不滲液型，而且經過了嚴格的泄漏檢測，請您放心使用。
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 型號 | 6700A | 6700B |
|---|---|---|
| 一次側*大壓力 | 0.9MPa | |
| 二次側控制壓力 | 0.01?0.3MPa | 0.05?0.6MPa |
| *小工作壓差 | 0.05MPa | |
| 耐壓力 | 1MPa | |
| 重現性 | 在額定壓力的±1％范圍內 | |
| 環境溫度 | 5℃?60℃ | |
| 額定流量 | 參照圖表 | |
| 接口 | Rc3/8（標準）、Rc1/4 | |
| 流體接觸部分材質 | （A） A?、BSBM、NBR、POM、SUS316 （SS）SUS316、氟橡膠、氟樹脂 | |
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