某晶圓廠內(nèi)，一臺進口痕量氣體分析儀因故障停機，供應(yīng)商回復配件到貨周期需三個月，整條產(chǎn)線被迫降速，產(chǎn)量受到嚴重影響。隨著中美加稅持續(xù)升級，全球供應(yīng)鏈波動不斷，長期依賴進口儀器的局限性正在加速顯現(xiàn)——價格高昂、周期冗長、售后滯后，已成為中國半導體制造鏈條上不能承受之重。推進核心檢測裝備的國產(chǎn)替代，不再是技術(shù)理想，而是應(yīng)對全球博弈下的現(xiàn)實必答題。就在4月11日，中國物流與采購聯(lián)合會公共采購分會發(fā)布倡議，號召鍛造“自主鏈核"，優(yōu)先采購國產(chǎn)設(shè)備，將產(chǎn)業(yè)鏈的“斷點"轉(zhuǎn)化為自主可控的“核心支點"（點擊閱讀原文）。中國半導體行業(yè)協(xié)會同日發(fā)布《關(guān)于半導體產(chǎn)品“原產(chǎn)地"認證規(guī)則的緊急通知》，明確“晶圓流片地即原產(chǎn)地"的認定原則，強化制造主權(quán)，也直指科學儀器必須自主掌控的核心痛點（）。政策引導與產(chǎn)業(yè)倒逼正加速共振。國產(chǎn)檢測裝備正在迎來關(guān)鍵窗口期，國產(chǎn)替代步入“從可用到主用"的深水區(qū)。聚光科技，正是這場“從可用到主用"的國產(chǎn)攻堅戰(zhàn)中的破局者。聚光科技依托二十余年在光譜、色譜、質(zhì)譜與自動化等領(lǐng)域的技術(shù)積淀，積極推出高度定制化、系統(tǒng)自動化的半導體行業(yè)專用創(chuàng)新產(chǎn)品與解決方案，在潔凈室氣態(tài)分子污染物監(jiān)測、半導體制程金屬污染檢測、半導體電子特氣泄漏檢測等應(yīng)用領(lǐng)域完成國產(chǎn)化布局，幫助客戶提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，同時為國產(chǎn)科學儀器在檢測領(lǐng)域的創(chuàng)新發(fā)展注入強勁動力。
在電子級化學品和晶圓拋光片的生產(chǎn)車間，哪怕是萬億分之一濃度的金屬雜質(zhì)，都可能成為良率滑坡的罪魁禍首。譜育科技自主研發(fā)的EXPEC 7350系列ICP-MS/MS，采用創(chuàng)新三重四極桿架構(gòu)，穩(wěn)定實現(xiàn)0.1ppt級別超高靈敏度，即便面對復雜基質(zhì)，也能精準鎖定痕量雜質(zhì)。經(jīng)過數(shù)千小時連續(xù)測試，EXPEC 7350系列ICP-MS/MS在檢出限、長期穩(wěn)定性、氧化物產(chǎn)率等關(guān)鍵指標上，全面超越國際同類標準，真正實現(xiàn)了材料檢測的自主可控。硅烷、磷烷、三氟化氮……在芯片工廠，這些特氣一旦泄漏，后果難以想象。針對特氣泄漏風險，譜育科技推出的GDM-2100 Series半導體氣體探測器，集成智能傳感器平臺，能夠精準偵測40余種半導體特氣，為廠區(qū)安全運行構(gòu)建起一道道堅實防線。在實際應(yīng)用中，該系統(tǒng)已為某個12英寸晶圓項目提供全天候氣體泄漏監(jiān)測，有效提升了廠區(qū)的生產(chǎn)安全水平。
GDM-2100 Series半導體氣體探測器
隨著半導體工藝節(jié)點不斷邁向5nm乃至3nm，微量氣態(tài)污染也可能導致產(chǎn)品報廢。半導體行業(yè)對檢測設(shè)備的靈敏度、穩(wěn)定性與響應(yīng)速度提出了的高標準。污染早發(fā)現(xiàn)、早控制，成為產(chǎn)線安全運行的底層邏輯。
在半導體廠區(qū)，譜育科技AMC 1000微污染氣體監(jiān)測系統(tǒng)通過分布式多點采樣，集成GC-MS、CRDS等先進技術(shù)，將廠區(qū)空氣環(huán)境編織成一張無形的“感知之網(wǎng)"，實時鎖定ppb級污染風險。采樣管路覆蓋范圍可達200米，檢出限低至0.1ppb，幫助客戶第一時間預警微小污染源，防患于未然。
AMC 1000微污染氣體監(jiān)測系統(tǒng)
為了滿足快速布控與局部排查需求，譜育科技還推出了移動推車式AMC監(jiān)測系統(tǒng)，內(nèi)置大容量電池與獨立觸控終端，脫離市電也能持續(xù)監(jiān)測。
在潔凈室，一臺痕量氣體分析儀穩(wěn)定運行，實時監(jiān)測車間環(huán)境中的氯化氫濃度。屏幕上報警信息同步推送，為產(chǎn)線調(diào)整爭取寶貴時間。
這臺設(shè)備正是聚光科技旗下子品牌如儀推出的SCA系列高精度痕量氣體分析儀。基于自主研發(fā)的CRDS技術(shù)，該設(shè)備可以在有限的光腔內(nèi)實現(xiàn)長達20千米的有效測量光程，對HF、NH?、HCl等有害氣體進行ppb級別的實時監(jiān)測，各項指標比肩進口設(shè)備。
如儀SCA系列高精度痕量氣體分析儀
在過去，國內(nèi)相關(guān)檢測設(shè)備在靈敏度與穩(wěn)定性方面始終受限，難以滿足先進工藝對潔凈環(huán)境的要求。聚光科技成功打破國外在CRDS技術(shù)領(lǐng)域的長期壟斷，自主構(gòu)建起完整技術(shù)體系，，助力半導體檢測實現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)自主可控。
項目測試數(shù)據(jù)顯示，如儀SCA系列高精度痕量氣體分析儀的監(jiān)測數(shù)據(jù)與某進口品牌設(shè)備一致性高達99.77%，氣體切換響應(yīng)時間10-20秒，成為產(chǎn)線上真正的“黃金救援助手"。
如儀SCA系列（HCI）比對測試數(shù)據(jù)如今，聚光科技的檢測裝備已助力國內(nèi)多家晶圓廠、半導體材料等企業(yè)穩(wěn)步提升產(chǎn)線良率與本質(zhì)安全水平，為“中國芯"保駕護航。譜育科技EXPEC 7350系列已成功應(yīng)用于多家大型半導體企業(yè)。某寬禁帶半導體材料企業(yè)將該設(shè)備用于襯底拋光片、外延片及高純試劑中的痕量金屬檢測。經(jīng)過半年使用，設(shè)備表現(xiàn)穩(wěn)定，客戶對其性能及售后服務(wù)給予高度認可。
EXPEC 7350系列應(yīng)用于某寬禁帶半導體材料企業(yè)在制程芯片制造企業(yè)和8+12英寸集成電路制造企業(yè)，EXPEC 7350S型ICP-MS有效覆蓋G3~G5級化學品的質(zhì)控要求，實現(xiàn)了G5級硝酸、氫氟酸、雙氧水、IPA等試劑的過程品控。
在的12寸硅片制造企業(yè)和化合物半導體制造企業(yè)，譜育科技利用VPD與7350S組合方案，能夠?qū)崿F(xiàn)自動化監(jiān)測晶圓表面金屬離子沾污，滿足8-12寸硅片制造企業(yè)和化合物半導體制造企業(yè)的品控要求。
在某12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項目中，GDM-2100 Series半導體氣體探測器為30余種有毒有害氣體建立了實時在線監(jiān)測體系，通過多層級報警聯(lián)動機制，大幅提升了生產(chǎn)環(huán)境的本質(zhì)安全水平。
GDM-2100 Series半導體氣體探測器助力某12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項目
晶圓廠采用AMC 1000微污染氣體監(jiān)測系統(tǒng)，實現(xiàn)潔凈室酸、堿、VOC等多類污染物的ppb級連續(xù)監(jiān)測。系統(tǒng)支持多點分布式采樣與靈活移動部署，為生產(chǎn)優(yōu)化與環(huán)境控制提供實時數(shù)據(jù)支撐。
晶圓廠采用AMC 1000微污染氣體監(jiān)測系統(tǒng)
某半導體廠在引入如儀SCA系列高精度痕量氣體分析儀后，發(fā)現(xiàn)其檢測精度與進口設(shè)備相當，響應(yīng)速度快，運行穩(wěn)定，隨即加購一臺。客戶反饋：“性能對標進口，服務(wù)響應(yīng)更快，國產(chǎn)儀器可以放心用。"
以科技自強
擎起中國“芯"力量
聚光科技，用科技創(chuàng)新擦亮了國產(chǎn)檢測裝備的底色，夯實了半導體制造的技術(shù)根基。
創(chuàng)新，從未止步；責任，始終在肩。
未來，聚光科技將繼續(xù)錨定國家戰(zhàn)略所需，聚焦產(chǎn)業(yè)發(fā)展所急，深耕科學儀器領(lǐng)域，助力中國半導體產(chǎn)業(yè)走得更穩(wěn)、更遠、更強。
以科技之光，照亮制造強國之路；以自主之力，支撐中國“芯"脈向上生長。
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