熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。
 
一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
 
根據熱效應的金氏，加熱功率P、溫度差△T（TRH-TRMG）與質量流量Q有確定的數學關系式。 P/△T=K1+K2 f(Q)K3 K1、K2、K3是與氣體物理性質有關的常數。
 
熱式氣體質量流量計*的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質量流量計測量煤氣流量時因煤氣中含水、油和雜質而造成的很大的零點漂移，導致無法測量的弊端。
 
它也可以用于測量濕氣體的質量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風，排風系統中的風量（速）的實時檢測。
 
熱式氣體質量流量計安裝方便，維修簡單雙向檢測，防振動；多至8點流量測量；輸出的校正多點非線性曲線修正
 
熱式氣體質量流量計的寬量程比100：1；流量與溫度同時檢測，切換顯示；大口徑小流量測量，可做泄露檢測；
 
熱式氣體質量流量計采用專有技術“雙平衡結構”傳感器；專有高濕、高溫，介質溫度可達400℃；直接質量流量檢測，無需溫度壓力補償。
 熱式氣體質量流量計按照其安裝方式分為插入式與管段式兩種形式，插入式適合用于管道直徑DN80-DN6000mm，管段式適用于DN15-DN2000mm的管徑。氣體質量流量計安裝位置及對管徑的要求一般需要以下幾點：
 
1、 選取合理的安裝位置，要避免管道的彎頭、變徑、閥門等產生流體流型剖面發生變化的組件。一般要求前直管段大于10D后直管段小于5D，以保證傳感器前后直管段的距離，得到理想的測量效果。為方便觀察及安裝，建議選擇水平式垂直直管道。
 
2、 安裝時需要注意流量計標識方面與測量介質、流動方向保持一致。
 
3、 流量計接線電纜，一定要往下彎曲、防止水順流電纜進入儀表內。
 
4、 插入式安裝時，要選檢查方向標與傳感器方向正確，同時緊固件要有密封墊片。
 
5、 安裝時應該注意避免潮濕氣體，如壓縮空氣、因為出氣口在較遠位置，防止潮濕氣體引起功力過大損壞流量計。
 
6、 插入式傳感器應安裝在管道內氣體流速較平均的位置，管壁處流速較慢，中心處流速較快，在直管段較長管徑大于DN250時，傳感器插入管道內徑的1/2處。