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ballwave超微量水分計FalconTrace系列檢測原理分析

來源:深圳市秋山貿易有限公司   2022年09月29日 09:44  

ballwave超微量水分計FalconTrace系列檢測原理分析

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超微量水分計「FalconTrace」,是使用球SAW傳感器,定量性地測量工業用氣體和天然氣極微量包含的水分子的裝置。

響應速度極快,可實時監測含水量變化,還可進行含水量和背景氣體組成分析兩項測定。可以將氣體中的水分濃度準確地測量到1ppb(10億分之一)水平。

球SAW傳感器的測量原理

①簾子狀電極(IDT;Inter Digital Transducer)產生彈性表面波。

②彈性表面波在球的赤道上旋轉,對涂抹的感應膜的微小變化作出反應。

③由波紋狀電極檢測反應后的彈性表面波的信號變化。

④通過多次循環累計微小的變化,實現高靈敏度的傳感。

案例分析和用途

  1. 半導體制造裝置制造商(主要是前工序)

  2. 蓄電池制造商及其材料制造商制造工序

  3. 工業煤氣制造廠

響應速度極快,可以以秒為單位監測水分量的變化,在半導體和二次電池的制造過程中有助于產品的成品率和質量穩定。

不需要對每個背景氣體進行再構成,在天然氣等成分有變動的情況下也可以同時檢測。另外,由于傳感器材料是水晶球,所以具有耐腐蝕性,重量輕,便于攜帶也是一大優點。

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實現了“超”微量水分測量的系列最上位機種


測量露點-110℃到-20℃的寬范圍


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※背景氣體:作為水分量測量對象的氣體


從天然氣到高純度氣體,用這一臺覆蓋

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通過電池驅動,即使在沒有商用電源的地方也可以使用


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