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臺式掃描電鏡主要應用于對樣品微區形貌，結構與組成進行觀察與分析。 它以分辨率高，景深好和操作簡單而被廣泛應用于材料學，物理學，化學，生物學，考古學，地礦學和微電子工業。
1、清洗頻率
清洗掃描電鏡的頻率取決于一系列因素及條件，其中包括:使用時間、樣品種類、加速電壓及電子束流等。
每次更換燈絲時，柵帽、柵帽光闌固定圈都要清洗，不必清洗陽極和陽極帽。當見到明顯的污染及圖象象散過大時，就應清洗物鏡光闌柄并用酒精燈燒物鏡光闌或換新光闌。如果上述部位都已被清洗過,還有明顯的污染和象散跡象，則應拆下襯管進行清洗。-般油擴散泵真空系統，每三個月就要清洗- -次。 渦輪分子泵真空系統，正常使用，每年清洗-次。
2、清洗部位
需要強調指出的是物鏡下極靴孔，如想清洗，須由有經驗的廠家維修工程師來清洗，若損傷物鏡的表面或邊緣將嚴重影響掃描電鏡的性能。在發現掃描電鏡有信號減弱和象散增大的跡象后,就要判斷污染所在的地方。這由掃描電鏡的真空泵類型決定，- 般由“70/20/10”規則判斷。
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