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輝光放電儀，特別是輝光放電光譜儀（GD-OES），是一種強大的表面分析技術，廣泛應用于材料科學、冶金、地質等領域。
原理
輝光放電光譜儀屬于發射光譜分析儀器，其基本原理是對一種光源加以利用，使被測樣品元素處于受激狀態。當樣品元素外層電子由高能態向低能態返回時，會發射出特征光譜。
具體來說，輝光放電燈作為輝光放電儀的光源，有兩個電極在一個RF輝光放電光源內。其中一個為直徑為4mm的管狀銅電極，作為陽極并接地；而樣品則作為陰極，維持一個通過高頻（RF）電源感應產生的電位。在輝光放電燈內充入低壓氬氣，有少量氬離子在燈內自發產生。在RF電位作用下，這些氬離子從陽極-陰極間隙穿過，產生高速震蕩。被加速的氬離子和氬原子發生碰撞，產生更多的氬離子和電子，形成等離子體，即輝光放電。
等離子體中的高速氬離子到達樣品（陰極）表面，使樣品表面的物質被均勻地濺射出來，并擴散到輝光放電等離子體中。在這些等離子體中，樣品組份被解離、原子化并激發，從而發射出特征光譜。這些光譜通過光學系統聚焦、分光后，被高動態范圍檢測器（HDD）接收并轉換成電信號。最后，這些電信號被送到計算機進行處理，通過比較軟件中預置的標準曲線與各種元素的光強信號，從而測算出各元素的濃度。
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