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在等離子除膠技術中，等離子體激發與表面改性的協同作用是去除材料表面膠質的關鍵所在。
等離子體激發是等離子除膠的基礎。通過高頻交流電源在真空環境中產生電弧放電，使氣體（如氧氣、氮氣）電離形成等離子體。等離子體包含自由電子、正離子以及中性粒子，具有較高的能量密度和反應活性。這些高能粒子在電場作用下，對材料表面進行轟擊。物理轟擊作用使膠質物質受到沖擊和振動，破壞其與基材之間的結合力，讓膠質變得松散，部分膠質直接從表面脫落。
表面改性則是等離子除膠的核心效果。等離子體中的活性粒子（如氧原子）與膠質發生化學反應。例如，氧原子與有機膠質反應生成可揮發性的氣體（如一氧化碳、二氧化碳和水），這些氣體隨后被真空泵抽走，實現膠質的去除。同時，等離子體的轟擊會在材料表面產生大量的懸掛鍵和活性位點，增強表面的化學反應活性。活性粒子與材料表面發生反應，形成新的化合物層或改變原有的化學結構，進一步促進膠質的分解和去除。
等離子體激發與表面改性相互協同，共同實現高效的除膠效果。等離子體激發為表面改性提供了必要的能量和反應環境，使表面改性反應能夠順利進行；而表面改性則通過化學反應將膠質轉化為可揮發性氣體，實現膠質的去除，同時改善材料表面的性能。這種協同作用使得等離子除膠技術具有高效、環保、對材料損傷小等優點，在半導體制造、精密電子元件清洗、醫療器械清洗等領域得到了廣泛應用。
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