研磨液供液系統SDS(Slurry Delivery System)是用來為CMP設備供給研磨液的。研磨液在SDS和水或雙氧水等按一定比例混配好之后,然后通過管路再輸送到CMP機臺研磨單元的slurry arm 供研磨過程中使用。因此,SDS能夠提供流量穩定不間斷的研磨液,精準的配比,并且在輸送管路中沒有結晶,對CMP工藝非常重要。
客戶痛點:研磨液在配比和使用過程會產生泡沫,普通的電容傳感器在管道上檢測液位的時候會對泡沫產生誤信號。
解決方案:訊巴赫智能電容傳感器SCBT 3045,采用電容調頻技術和多模態補償算法,有效屏蔽泡沫,穩定檢測;
產品特點:
電容調頻技術和多模態補償算法,可靠檢測多種介質,抗掛料能力強;
PNP/NPN 常開/常閉可設置;
Teach in模式,可以自動識別物料,有效屏蔽泡沫;
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