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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>組裝與封裝設備>鍵合機>EVG501 微流控加工設備:鍵合機-EVG501

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EVG501 微流控加工設備:鍵合機-EVG501

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業技術團隊,專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

價格區間 50萬-80萬 儀器種類 微陣列芯片系統
應用領域 電子/電池

EVG500系列鍵合機:EVG501

 

 

  • 簡介

 

EVG公司成立于1980年,公司總部和制造廠位于奧地利,在美國、日本和中國臺灣設有分公司,并在其他各地設有銷售代理及售后服務部,產品和服務遍及世界各地。

EVG公司是一家致力于半導體制造設備的供應商,其豐富的產品系列包括:涂膠和噴膠/顯影機/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對準系統、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統、基片清洗機、基片檢測系統、SOI 基片鍵合系統、基片臨時鍵合/分離系統、納米壓印系統。

目前已有數千臺設備安裝在世界各地,被廣泛地應用于MEMS微機電系統/微流體器件,SOI基片制造,3D封裝,納米壓印,化合物半導體器件和功率器件等領域。

EVG公司是世界上頂jian的基片鍵合設備制造商,其鍵合工藝被認定為MEMS領域的標準工藝。EVG鍵合系統可實現陽極鍵合、熱壓鍵合、中間層粘著鍵合、 玻璃漿料鍵合、硅-硅直接鍵合、共晶鍵合及SOI鍵合等所有鍵合工藝。EVG鍵合設備型號齊全,從手動裝片系統到全自動片盒送片多工藝室系統,可以滿足不同客戶的應用要求。無論手動/半自動裝片系統, 鍵合工藝全部自動完成;而且,*的基片夾具及鍵合室結構設計,可實現高精度的圓片鍵合;此外上/下極板為獨立分別加熱控制,大加熱溫度可達650度。

EVG501是一款主要用于研發的高度靈活的鍵合系統,既可以處理很小的碎片也可以處理200mm的晶圓。可以支持各種形式的鍵合,如陽極鍵合、玻璃焊料鍵合、共晶、擴散、融合、焊接和粘結鍵合;也可以支持其他熱處理過程如氧化物移除和高溫烘烤等。EVG501在夾具更換時非常方便,更換時間一般不超過5分鐘,大大減少了客戶的操作時間和培訓費用,因此EVG501是一款非常適合研發和小量生產的設備。

 

二、應用范圍

主要應用于MEMS制造、微流體芯片、化合物半導體的薄片處理、晶圓級良好封裝以及3D互聯、TSV工藝等。

 

三、主要特點

  1. 大化降低客戶總擁有成本(TCO)
  2. 高鍵合溫度450度,壓力10KN
  3. 精確的硅片低壓契型補償系統以提高良率
  4. 溫度均勻性: <+/- 1% ;壓力均勻性:<+/- 5%
  5. 工藝菜單與其他鍵合系統通用
  6. 高真空度鍵合腔室 (可低至 10-5 mbar,使用分子泵)
  7. 開放式腔室設計便于快速轉換和維護
  8. 基于Windows 的控制軟件和操作界面
  9. 小化占地占地面積--- 200 mm鍵合系統占地 0.88 m2

 

四、技術參數



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