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半導體制程技術進步的“燃料”

閱讀:106 發布時間:2020/11/19

產業鏈轉移的quanqiu大趨勢為中國大陸集成電路行業的發展提供了新機遇。

diyi次產業轉移(美國→日本):技術、利潤含量較低的封裝測試環節。
第二次產業轉移(日本→韓國、中國臺灣):集成電路精細化分工。
第三次產業轉移(韓國、中國臺灣→中國大陸):第三階段轉移為產業規模。


據第三方統計,至2022年quanqiu光刻膠市場規模將超過100億美元。

受益于半導體、顯示面板、PCB產業東移的趨勢,2019年中國光刻膠市場本土企業銷售規模約70億元,quanqiu占比約10%,發展空間巨大。目前,中國本土光刻膠以PCB用光刻膠為主。


光刻膠又稱光致抗蝕劑,是一種對光敏感的混合液體。在紫外光等光照或輻射下,溶解度會發生變化的薄膜材料。

按曝光波長,可主要分為G-line、I-line、KrF、ArF d&ArF i、EUV等光刻膠。

在大規模集成電路的制備中,光刻膠要通過預烘、涂膠、前烘、對準、曝光、后烘、顯影和蝕刻等環節,將光罩(掩膜版)上的圖形轉移到硅片上。

光刻膠是集成電路制造的重要材料,光刻膠的質量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關鍵因素。

光刻工藝的成本約為整個芯片制造工藝的35%,并且耗時約占整個芯片工藝的40%-50%。光刻膠材料約占IC制造材料總成本的4%,市場巨大。




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